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IFOX系列自动化光学晶圆检测设备

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更新时间：2023-03-09 18:48:44浏览次数：374次

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产品简介
主要特点：1、成像质量:使用的相机技术以实现超快速度且极小像差的扫描2、量测集成包：大族激光是使用量测集成包的公司

详情介绍



主要特点：

1、成像质量:使用的相机技术以实现超快速度且极小像差的扫描

2、量测集成包：大族激光是使用量测集成包的公司，能够以一种简单方便的方式创建一个快速的量测方案

3、光学系统:使用自主*的大视野显微镜，配有高级照明系统和即时聚焦技术

4、缺陷查找：使用*的智能缺陷算法以克服制程工艺带来的变异

5、直线高精电机，XYZ平台, 100纳米分辨率

6、机械结构200纳米精度

7、洁净化设计 (运动平台在晶圆下侧)

8、浮式基座平台减小设备震动影响



主要参数:


性能参数.jpg




加工效果：


12寸半自动刀轮设备.png 


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