大族激光科技产业集团股份有限公司
免费会员

当前位置：大族激光科技产业集团股份有限公司>>半导体行业>> DSI-S-LA9200全自动激光退火设备

全自动激光退火设备

全自动激光退火设备
参  考  价面议
具体成交价以合同协议为准

产品型号DSI-S-LA9200

品       牌

厂商性质生产商

所  在  地

在线询价 加入对比 查看联系电话

联系方式：市场部查看联系方式

更新时间：2022-01-15 15:05:55浏览次数：1006次

联系我时，请告知来自 机床商务网
同类优质产品更多>
产品分类品牌分类
产品简介
主要特点：设备特点：1、整机模块化设计与集成

详情介绍



主要特点：

设备特点：

1、整机模块化设计与集成，提供系统解决方案

2、退火面均匀性高，电学特性优秀

3、兼容4、6英寸薄片晶圆

4、激光分布均匀、能量稳定，配置监控与补偿系统

5、严格控制腔体含氧量和非退火面温度

6、高精度全自动EFEM传输模组

7、符合SEMI标准，支持SECS-GEM通信



主要参数:


主要参数加工尺寸4inch、6inch
加工速度1000mm/s
加工精度±1μm
平台参数行程300mm×300mm
重复定位精度±0.001mm
激光器参数紫外
稼动率98%以上
重大故障间隙时间＞1000H
良率≥99.5%



加工效果：


   



会员登录

×

请输入账号

请输入密码

=

请输验证码

收藏该商铺

X
该信息已收藏！
查看我的收藏夹设置标签
标签：
保存成功

(空格分隔,最多3个,单个标签最多10个字符)

常用：

提示

X
您的留言已提交成功！我们将在第一时间回复您~
产品对比

对比框

商铺网址： https://www.jc35.com/st220256/  

  • 扫一扫访问手机商铺

以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，机床商务网对此不承担任何保证责任。

温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。

在线留言