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全自动晶圆ID打标设备

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产品型号DSI-G-WMK3001-A

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更新时间：2022-01-14 15:18:32浏览次数：575次

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产品简介
主要特点：设备特点：采用高精度二维直线电机平台

详情介绍



主要特点：

设备特点：

采用高精度二维直线电机平台，DD马达晶圆双臂搬运机器人，全自动视觉定位，设备配置标刻内容校验功能 



主要参数:


主要参数加工尺寸2-6inch晶圆片
加工速度UPH≥60pcs
加工精度±10μm
平台参数行程400mm*250mm，
重复定位精度±0.002mm，
DD马达重复定位精度±2arcsec
激光器参数紫外纳秒，平均功率3W
Tact time＜60s
稼动率/
重大故障间隙时间/
良率99.9%




加工效果：

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