2022-12-06 11:12:50383
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NSC-4000（M）磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，可达8“旋转平台，可支持4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，J限真空可达10-7Torr，15分钟内可以达到10-6Torr的真空。通过调整磁控管与
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