那诺—马斯特中国有限公司

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2022-11-18 14:25:48338
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NPE-4000ICPECVD等离子体化学气相沉积系统概述:NANO-MASTERICPECVD系统能够沉积高质量的SiO2,Si3N4,或DLC薄膜到z大可达6”直径的基片上.该系统采用淋浴头电J或中空阴J射频等离子源来产生等离子,具有分形气流分布的

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