2022-12-07 10:48:18416
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NSC-3500（A）全自动磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，可达到6“旋转平台，支持到3个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，J限真空可达10-7Torr，15分钟内可以达到10-6Torr的真空。通过调整
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