详细摘要: 以纯水、酸性药液或有机试剂作为清洗剂,采用喷淋、热浸等清洗方式,对晶圆进行批量清洗。
产品型号:所在地:苏州市更新时间:2025-04-11 在线留言加工中心 车床 铣床 钻床 镗床 磨床 雕刻机 雕铣机 刨床 拉床 锯床 齿轮加工机床 螺纹加工机床 复合切削机床 其它金属切削机床
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详细摘要: RCA槽式清洗机 是一种主要用于去除硅片表面各类玷污,是半导体制造过程中被广泛应用的工艺。 主要由两只 石英加热缸 、两套温度控制系统(石英缸数量可根据客户要求...
产品型号:所在地:苏州市更新时间:2025-04-11 在线留言详细摘要: 兆声波清洗不仅保存了超声波清洗的优点,而且克服了它的不足。在清洗时,由换能器发出波长为1μm频率为0.8兆赫的高能声波。溶液分子在这种声波的推动下作加速运动,瞬...
产品型号:所在地:苏州市更新时间:2025-04-11 在线留言详细摘要: 设备应用湿法制程有机溶剂清洗,触控人机或PC界面搭配PLC的软件控制,由机械手臂180度 旋转设计执行槽位间的晶圆输送,依制程需求或场地需求,配置多款制程槽位模...
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