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苏州清芯卓半导体设备有限公司


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清芯卓有机清洗机

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参  考  价:500000 - 1200000 /件
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号

  • 品牌

    其他品牌

  • 厂商性质

    生产商

  • 所在地

    苏州市

联系方式:杨丽华查看联系方式

更新时间:2025-04-11 11:02:10浏览次数:55次

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产品简介
产地 国产    

设备应用湿法制程有机溶剂清洗,触控人机或PC界面搭配PLC的软件控制,由机械手臂180度 旋转设计执行槽位间的晶圆输送,依制程需求或场地需求,配置多款制程槽位模块,提高产能输出, 生产流程更有效率管控,各种安全防护标准设计,针对设备与人员的各种危险隐忧提高保护措施。

详细介绍

晶片规格:

2-8〞单、双cassette

主要材料:

金属骨架+PP/PVC/SUS304壳体,槽体材质PP/PVDF/PTFE/石英

工艺槽功能:

循环过滤+加热

基础工艺流程:

ACE→NMP→IPA→QDR

设备类型:

手动/半自动/全自动(定制)

Footprint : 1800 (W) x 1300 (D) x 2000(H) mm(非标)

该设备应用湿法制程有机溶剂清洗,触控人机或PC界面搭配PLC的软件控制,由机械手臂180度旋转设计执行槽位间的晶圆输送,依制程需求或场地需求,配置多款制程槽位模块,提高产能输出,生产流程更有效率管控,各种安全防护标准设计,针对设备与人员的各种危险隐忧提高保护措施。

关键词:机械手

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