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苏州清芯卓半导体设备有限公司
产地 | 国产 | 售后保修期 | 12个月 |
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以纯水、酸性药液或有机试剂作为清洗剂,采用喷淋、热浸等清洗方式,对晶圆进行批量清洗。
晶片规格:
2-8〞单、双cassette
主要材料:
金属骨架+PP/PVC壳体,槽体材质PP/PVDF/PTFE
工艺槽功能:
循环过滤+加热冷却
基础工艺流程:
BOE→QDR→HF→QDR(可增减)
设备类型:
手动/半自动/全自动(定制)
Footprint : 2000 (W) x 1400 (D) x 2000(H) mm(非标)
以纯水、酸性药液或有机试剂作为清洗剂,采用喷淋、热浸等清洗方式,对晶圆进行批量清洗
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