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详细介绍
特点
- 机械手臂标准臂长：160 mm，190 mm，260 mm，330 mm
- Z轴（升降轴）标准长度：20 mm，40 mm
- 可搬运重量：手臂第3关节处基准2kgf以下（臂长160 mm，260 mm，330 mm）
手臂第3关节处基准3 kgf以下（臂长190 mm） - 手臂关节处使用磁流体密封装置
- 真空密封：磁流体密封及波纹管
- 提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5 µm级过滤器
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用2相步进电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
- 可以选配伺服电机规格
- 手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式
- 可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供优选的手指
产品，稳定性好，性价比高，也可用于搬运托盘
应用设备实例
PE-CVD设备；刻蚀设备；高温PVD设备
规格
| 被搬运物 | 〜300 mm晶圆 | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋转 | 升降 | |
| 可动范围* （手臂第3关节中心基准） | 520 mm | 330度 | 40 mm |
| 搬运速度 (平均速度)* | 300 mm/sec | 120度/sec | 20 mm/sec |
| 搬运速度 (速度)* | 550 mm/sec | 170度/sec | 30 mm/sec |
| 精度* | 82 µm | 0.009度 | 1.25 µm |
| 搬运高度* | 98 mm（法兰安装面到手指安装面的高度） | ||
| 重复性精度 | ±0.1 mm以内 | ||
| 洁净度 | 可以使用磁流体密封装置以及颗粒过滤装置 | ||
| 耐真空度 | 1.33×10-6Pa | ||
| 厂务 | 电源：DC24V±10% 8A | ||
*测试机型：SVCR3260-040-PM（步进电机规格）(中具有代表性的标准品)
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