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详细介绍
特点
- 可对应平行配置的布局
- 可对应搬运重量10kg
Micro LED用4轴真空水平多关节洁净机械手臂
应用设备实例
LED生产设备
规格
| 被搬运物 | 可对应700 mm托盘 (10 kg) | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋转 | 升降 | |
| 可动范围* （被搬送物体中心到达距离） | 1290 mm | 360 度 | 60 mm |
| 搬运速度* | 640 mm/4.0 sec | 360 度/5.0 sec | 60 mm/2.0 sec |
| 精度* | 第1关节轴 (J1轴) | 第2关节轴 (J2轴) | 第3关节轴 (J3轴) |
| 8.1x10-4 度 | 8.1x10-4 度 | 7.2x10-4 度 | |
| 第4关节轴 (J4轴) | |||
| 0.98 µm | |||
| 重复性精度 | ±0.1 mm以内 | ||
| 洁净度 | 机械手臂本体: 0.1 µm/cf Class 1 | ||
| 厂务 | 电源：単相AC200V±10% 4.0 kVA | ||
| 质量 | 机械手臂本体 大约90 kg | ||
*测试机型：JVCR4330-060-AM
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