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详细介绍
特点
- 机械手臂标准臂长：330 mm
- Z轴（升降轴）标准长度：60 mm
- 可搬运重量：手臂第3关节处基准4kgf以下
- 手臂关节处使用磁流体密封装置
- 真空密封：磁流体密封装置以及波纹管
- 提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5 µm级过滤器
- 双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
- 配备动作监视器
- 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
- 全轴采用值编码器规格的AC伺服电机
- S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
- 手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
- 晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式，利用O型胶圈的摩擦力来保持位置
- 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供优选的手指
能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局，能够灵活地适应不同类型设备的多种布局。
应用设备实例
高温PVD设备；刻蚀设备等
规格
| 被搬运物 | 〜300 mm晶圆 | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋转 | 升降 | |
| 可动范围* （手臂第3关节中心基准） | 635 mm | 360度 | 60 mm |
| 搬运速度 | 640 mm/1.0sec | 180度/1.1sec | 60 mm/1.0sec |
| 精度 | 第1关节轴（J1轴） 第2关节轴（J2轴） | 第3关节轴（J3轴） 第3关节轴（J5轴） | Z轴（J4轴） |
| 0.00081度 0.00081度 | 0.00072度 0.00072度 | 0.98µm | |
| 重复性精度 | ±0.1 mm以内 | ||
| 洁净度 | 可以使用磁流体密封装置以及颗粒过滤装置 | ||
| 耐真空度 | 1×10-6Pa | ||
| 厂务 | 电源：単相AC200～230V 2kVA 50/60Hz | ||
*测试机型：GTVCR5330-060-AM中的具有代表性的标准品 (搬运物体，以及手指形状的不同上述测量结果会不同)
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