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详细介绍
- 特点
- 用途
- 技术参数
1.在线检测，方便快捷；
2.大尺寸检测空间，适应在线整盘加工元件的数字化品控。
光学元件加工过程在线检测，并实时给出面型测试数据，指导精确加工。
测量结构：斐索干涉立式结构
通光口径：Φ150mm
光源波长：632.8nm(进口氦氖激光光源)
平面标准镜：材料：石英；面型精度PV：λ/20
数字CCD：CCD分辨率1K*1K
对准方式：两点对准
对准视场：±2°
相移解相方式：机械相移解相
干涉仪测试空间尺寸:410mm（长）*410mm（宽）*210mm（高）
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