INF300H-LP-WM激光平面干涉仪

成像质量良好，结构简洁

立式结构

操作方便，使用简单

波长调谐式条纹分析系统

测量光学平面面型精度

测量光学元件的材料均匀性

对干涉条纹进行数据分析处理，给出检验报告

测量结构：菲索干涉卧式结构

通光口径：小端口：φ100mm；大端口二：φ300mm

测试光源：半导体调谐激光光源，λ=632.8nm；

相机：分辨率1024×1024

φ100mm标准楔形镜（TF镜）：PV优于λ/20（φ100mm内）

φ300mm标准楔形镜（TF镜）：PV优于λ/20；

φ300mm标准反射镜（RF镜）：PV优于λ/20；

系统精度：PV值 λ/20；

系统重复性精度：RMS重复性优于λ/2000；

ZOOM变焦：1-6X连续变焦；

测试对准方式与角度：快对准与精密对准方式，对准角度≥±15°/±3°

尺寸：2400×1200×500mm

重量：约260Kg