INF800-LP-WM激光平面数字干涉仪

序号

指标名称

指标参数

1

测试结构

卧式双端口；

2

测试口径

大端口：通光口径≥φ815mm，有效口径≥φ800mm;

小端口: 通光口径≥φ102mm，有效口径≥φ100mm；

3

相移方式

QPS波长调谐相移解相；

4

测试光源

波长调谐相干光源，λ=632.8nm，相干长度≥100m；

5

CCD指标

分辨率≥2.3K×2.3K，帧率≥50Hz；

6

φ800mm标准楔形镜（TF镜）

标准面面形：PVr优于λ/12，中频误差PSD1小于0.9nm，进口熔石英材料；

7

φ800mm标准反射镜（RF镜）

标准反射面面形：PVr优于λ/12，中频误差PSD1小于0.9nm，进口微晶材料；

8

系统传递函数

ITF ≥ 0.7 @ 0.4 mm-1（φ800mm大端口系统）；

9

系统精度

系统精度：系统空腔精度PVr优于λ/10，中频误差PSD1小于0.9nm（φ800mm有效口径内）；

10

系统重复性精度

系统重复性精度：系统RMS重复性优于0.63nm，λ/1000（2σ）；

11

调焦范围

光瞳调焦范围≥±2.5m；

12

ZOOM变焦

ZOOM变焦：1X光学变焦，50X数字变焦；

13

测试对准方式与角度

测试对准方式与角度：快对准与精密对准方式，对准角度≥±15°/±3°；

14

波长调谐相移分析软件

输出峰谷值（PV）、标准偏差（RMS）、等高图、X-Y剖面图、三维立体图、干涉条纹图、MTF(光学传递函数)、PSF(点扩散函数)，泽尔尼科多项式分析、赛德尔相差分析等；

分析软件可进行矩形、椭圆、正方形、圆、多边形等数据分析功能；

平行平板类元件测试功能（样品无需特殊处理），一次干涉条纹数据采集可同时得到，平行平板前表面面形、后表面面形，光学厚度变化；

具有材料均匀性测试分析功能；

15

标准反射镜支撑调节

二维手动与电控角度调节，整体结构气浮大范围移动；

16

测试工装

两维角度调节，一维平移调节，大范围气浮调节；

17

气浮隔振平台

进口TMC气浮L形隔振平台，

尺寸≤3500mm1500mm+1500mm×3000mm。