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详细介绍
产品特点
· 支持薄片退火 · 优秀的退火表面形貌和电学特征
· 10-5Ωcm²量级的比接触电阻率
· 高效率、低成本控制
· I F 值提高 30% 以上 · 完整的全程监控反馈功能
应用产品类型
技术指标
| 项目 | LA2540S | LA2550S |
| 晶圆尺寸 | 4/6 Inch 兼容 | |
| 典型扫描时间 | 180 sec/p @4 inch | 90 sec/p @4 inch |
| 激光能量密度 | ≥ 5J/cm² | |
| 激光输出稳定性 | ≤ 2%，RMS，4hrs | |
| 比电阻接触率 | ≤ 10 -5Ωcm² | |
| 自动传片系统 | 双 LoadPort、多关节机器手、预准直器 | |
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