当前位置:大族激光科技产业集团股份有限公司>>大族激光-等离子清洗/除胶>> 晶圆等离子清洗机(等离子灰化/去光刻胶/聚合物剥离/预处理/介电质刻蚀/晶圆凸点/有机污染去除/晶圆减薄)
功能:
可清洗晶圆表面的颗粒、有机物、金属杂质、氧化物
特点:
1)相较于真空等离子,可以在常压下工作
2)工作效率远高于真空等离子
3)氩气等离子辉光为低温,不会破坏晶圆
序号 | 项目 | 规格参数 |
1 | 电源电压 | 220(±10%)VAC,50/60Hz |
2 | 电源需求 | 220VAC/10A以上, |
3 | 工作频率 | 13.65MHz |
4 | 设备功率 | <3.2KW(依实际为准) |
5 | 气源要求 | 根据产品选AR,N2,O2等气体 |
6 | 压缩空气 | ≥0.3MPa(3kg/cm2) |
7 | 主机尺寸 | 1260(L)x600(W)x1980(H)mm |
8 | 等离子头尺寸 | 400(L)x80(W)x60(H)mm |
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