当前位置：大族激光科技产业集团股份有限公司>>大族激光-等离子清洗/除胶>> 在线式自动真空等离子/进口等离子/摄像头模组/芯片支架/芯片框架
晶圆等离子清洗机（等离子灰化/去光刻胶/聚合物剥离/预处理/介电质刻蚀
在线式自动真空等离子/进口等离子/摄像头模组/芯片支架/芯片框架
线性等离子清洗机（低温等离子清洗机 宽幅氮气等离子 宽幅plasma
工作处理流程 ：
自动装载→产品引到真空室→关闭真空室及抽真空度→前处理→真空清洗→产品推出→卸载
| 电极配置和气体流量 | |
| 保证良好的气体流动系统及均匀的等离子体生成系统 | |
| 通过强力排气及消除污染，*消除残留物 | |
| 射频发生器 | |
| 频率 | 13.56Hz |
| 输出功率 | １０００W Max |
| 配备自动匹配系统以大限度地减少反射功率 | |
| 真空系统 | |
| 真空干泵/油泵 | |
| 安全 | |
| 紧急停止按钮,关闭所有功率和气体流量 | |
| 射频发生器互锁 | |
| 室门关闭检测 | |
| 安全玻璃检查观点 | |
| 电磁辐射抑制 | |
请输入账号
请输入密码
请输验证码
以上信息由企业自行提供，信息内容的真实性、准确性和合法性由相关企业负责，机床商务网对此不承担任何保证责任。
温馨提示：为规避购买风险，建议您在购买产品前务必确认供应商资质及产品质量。
机床商务网