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晶圆等离子清洗机（等离子灰化/去光刻胶/聚合物剥离/预处理/介电质刻蚀
在线式自动真空等离子/进口等离子/摄像头模组/芯片支架/芯片框架
线性等离子清洗机（低温等离子清洗机 宽幅氮气等离子 宽幅plasma
清洗作用：
| 名称（Name） | 真空等离子清洗机 |
| 型号（Model） | VAC-P110L Plasma |
| 控制系统（Control system） | PLC+触摸屏 |
| 电源（Power supply） | 380V/AC,50Hz,3KW |
| 射频电源功率（RF Power） | 600W/13.56MHZ |
| 容量（Volume） | 110L(Option) |
| 层数（Electrode of plies） | 8 |
| 气体通道（Gsa） | 两路工作气体可选：Ar、N2、H2、CF4、O2 |
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