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沈阳和研精密划片机Precision Dicing Saw

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称沈阳和研科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号DS616
  • 所  在  地沈阳市
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2017-09-25
  • 访问次数5241
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 沈阳和研科技有限公司是一家专业从事半导体*设备及配件耗材的研发、销售、咨询、服务于一体的多元化公司,我们专注于硅片切割,晶圆切割,特殊切割加工等领域。依托于*的产品技术及丰富的行业经验,不断为客户提供合理、实用、的产品解决方案,我们以专业的、的售后服务体系一直为您解决工艺中的技术难题;客户的需求是公司发展的强劲动力,我们的目标是通过提供适合市场的创新产品、合理的技术方案、贴心的售后服务,Z终成为您值得信赖的合作伙伴。

    我公司研发生产的DS610、DS620、DS820系列精密划片机是综合了水气电、高速主轴、精密机械传动、传感器及自动化控制等技术的精密数控设备。主要用于硅集成电路、发光二极管、铌酸锂、压电陶瓷、砷化镓、蓝宝石、氧化铝、氧化铁、石英、玻璃、陶瓷、太阳能电池片等材料的划切加工。

  主营产品:自动砂轮划片机,精密切割机晶圆切割机,硅片切割机。

 划片机配套设备:贴膜机,清洗机,扩膜机,剥膜机,UV照射机。划片机配件和耗材:划片机主轴*装刀工具,划片机主轴,划片机*真空表气压表,划片机*吸盘,划片机主轴*吸盘(四片),划片机*吸盘(6英寸),划片机*吸盘(3英寸),陶瓷吸盘,划片机*喷水罩,划片机*流量计,划片机空气过滤组件,划片机用切割刀片,划片机*防水帘,划片机*刀盘(装刀法兰),划片机*导轨丝杆,划片机*绷环,划片机用UV膜、蓝膜,划片机用刀片。

划片机,精密切割机,晶圆切割机,硅片切割机,贴膜机,清洗机,扩膜机,剥膜机,UV照射机,划片机吸盘
DS616精密划片机采用DS-200-6软件控制系统,对比DS610型本机型采用触摸屏操控方式,工件图像对准简单方便,拥有自动图像对准操作模式,节省操作时间,提高切割效率。
沈阳和研精密划片机Precision Dicing Saw 产品信息

DS616精密划片机Precision Dicing Saw

触摸屏,工件图像对准简单方便,自动图像对准

DS616精密划片机采用DS-200-6软件控制系统,对比DS610型本机型采用触摸屏操控方式,工件图像对准简单方便,拥有自动图像对准操作模式,节省操作时间,提高切割效率。

 

继承了经典机型DS610的优点,并进一步提高产能效率;

DS610比较,提高约13%

配备新型硬件,采用新版软件,提升各轴联动性能,减少响应时间;

配备大功率主轴,提升切割性能。

 

节省空间的设计 是目前我公司精密划片机里占地面积zui小的机型,相对于DS610减小12%

 

 

特点:

  l 全新GUI界面,操作简便 

  l 主轴气压、水压、电流时时监测,减少主轴损伤 

  l 设备结构设计合理,方便维护保养,减少故障率

  l 切割范围均可根据客户需求进行适当调整,提高生产效率

  l 可做160×160方形盘的增强功能

  l 自动对焦功能

 

机器安全保护

 

含低气压、水压、工作台伺服、转台伺服、主轴驱动、测高系统、控制系统的故障报警以及开舱门停机报警功能。

 

可精密切割材料: 

硅片、砷化镓、铌酸锂、氧化铝、陶瓷、玻璃、石英、蓝宝石、晶体、PCB

应用领域:

二极管、三极管、MEMS、IC、LED、NTC、光伏、科研、闪烁晶体

DS616技术参数

 

 

配置与性能

加工尺寸

≤160mm×160mm或φ6″

切槽深度

≤4mm或 定制

工作台平整度

±0.005mm/100mm

对准系统

70x 同轴+环形照明  (210x选配)

控制系统

IPC Based

主轴

转速范围

3000~40000rpm

输出功率

1.5kW   (2.2kW选配)

X
(驱动工作台左右运动)

驱动方式

伺服电机

工作台左右行程

240mm 

行程分辨率

0.001mm 

速度设定范围

0.1~400mm/s

Y
(驱动主轴前后运动)

驱动方式

步进电机+光栅闭环控制系统

主轴前后行程

170mm 

行程分辨率

0.0005mm 

单步定位精度

≤0.003mm/5mm

全程定位精度

≤0.005mm/170mm

Z
(驱动主轴上下运动)

驱动方式

步进电机

主轴上下行程

30mm 

行程分辨率

0.001mm 

重复定位精度

0.002mm 

θ
(驱动工作台转动)

驱动方式

伺服电机

正反转范围

360°任意

转角分辨率

0.0005°(1.8″)

基础规格

电源

三相,AC 220V±10%

耗电量

加工时  1.6KW

暖机时  1.2KW

压缩空气

压力0.6MPa;平均流量300L/min

切削水

压力0.2~0.4MPa;流量3.0L/min

冷却水

压力0.2~0.4MPa;流量1.5L/min

排风量

300L/min (ANR)

外形尺寸W×D×H

665×850×1650mm

重量

500kg 

 

使用条件:

1. 请将机器设在20~25℃的环境中,并将波动范围控制在±1℃以内;室内湿度<80%,无凝结。

2. 请使用大气压露点在-15℃以下,残余油份为0.1ppm,过滤精度在0.01μm/99.5以上的清洁压缩空气。

3. 请将切削水的水温控制为室温+2℃(波动范围在±1℃以内),冷却水的水温控制为与室温相同(波动范围控制在±1℃以内)。
4. 请避免设备受到重力撞击以及外界任何威胁振动。请不要将设备装在鼓风机、通风口、产生高温的装置以及产生油污的装置附近。
5. 请把本设备安装在有防水性地板以及有排水处理的场所。

6. 请严格按照我们的产品使用说明书进行操作。

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