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主要参数
MPT-1UN/RL010 MPT-1UN/RL025 MPT-1UN/RL050 MPT-1UN/RL100 运动自由度 X X X X 行程范围(μ m±10%) 10 25 50 100 位移分辨率(nm) 1 2.5 5 10 重复定位精度(nm) -/10 -/25 -/50 -/100 负载(Kg) 1 1 1 1 静电容量(μ F±10%) 4 6 4 6 运动方向上刚度(N/μm) 90 45 0.5 0.2 工作电压(V) 0~150 0~150 0~150 0~150 工作温度范围 (℃ ) -20 ~ 80 -20 ~ 80 -20 ~ 80 -20 ~ 80 外形尺寸A×B×C(mm) 30×45×45 48×45×45 30×45×45 30×60×45 模型下载 IGS IGS IGS IGS
开环工作台推荐匹配电源型号:HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号:PPC-1CR0150