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主要参数
开环工作台推荐匹配电源型号:HPV-3C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号:PPC-1CR0150 MPT-1LN/RL060 MPT-1LN/RL100 MPT-1LN/RL140 运动自由度 Z Z Z 行程范围(μ m±10%) 60 100 140 位移分辨率(nm) 6 10 14 重复定位精度(nm) -/60 -/100 -/140 负载(Kg) 1 1 1 静电电容(uF±10%) 90 120 140 运动方向上刚度(N/μm±20%) 0.2 0.2 0.2 工作电压(V) 0~150 0~150 0~150 工作温度范围 (℃ ) -20 ~ 80 -20 ~ 80 -20 ~ 80 外形尺寸A(mm) 33 43 51 模型下载 IGS IGS IGS