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主要参数
| MPT-1ZN/RL100 | MPT-1ZN/RL200 | MPT-1ZN/RL350 | |
| 运动自由度 | Z | Z | Z |
| 行程范围(μm±10%) | 100 | 200 | 350 |
位移分辨率(nm) | 10 | 20 | 35 |
重复定位精度(nm) | -/100 | -/200 | -/350 |
| 负载(Kg) | 1 | 1 | 1 |
| 重量(g±5%) | 200 | 250 | 300 |
| 工作电压(V) | 0～150 | 0～150 | 0～150 |
| 工作温度范围(℃) | -20～80 | -20～80 | -20～80 |
| 外型尺寸 A×B×C(mm) | 60×35×30 | 80×35×30 | 100×35×30 |
| 运动部分 D×E(mm) | 20×10 | 20×10 | 20×10 |
| 外形尺寸 F×G (mm) | 44×45 | 44×45 | 44×45 |
| 安装尺寸 H×I(mm) | 50×20 | 70×20 | 90×20 |
| 安装尺寸 K | M3 | M3 | M3 |
| 安装尺寸 J | M3 | M3 | M3 |
| 模型下载 | IGS | IGS | IGS |
开环工作台推荐匹配电源型号：HPV-1C0150A0500;闭环工作台推荐匹配电源型号：PPC-1CR0150
Z轴正负向运动可按照要求定制，默认为Z轴正向运动。
