基本参数(标准型)
X向量程：100mm
X轴分辨率：0.2μm
X轴指示精度：±（3+0.02L)μm
Z1向量程：25mm
Z1轴分辨率：0.05μm
Z1指示精度：±（2.5+|0.15H|)μm
Z轴高度：320mm 立柱行程
直线度：1μm/50mm
水平精度：±（1.2+0.02L)μm
垂直精度：±（1.5+|0.03H|)μm
驱动方式：X轴 Z轴 均为电动
检测方法： X轴 高精度光栅传感器 0.2μm
Z1轴 高精度光栅传感器 0.05μm
驱动速度： X轴 Z轴（立柱） 4档，可自定义速度
测量速度：X轴: 0.1,0.2,0.5,1mm/s ,自定义
