大样品台白光轮廓仪Nexview™LS650

 Nexview™LS650 大样品台白光干涉仪非常适合测量 尺寸大，重量大 的样品，例如注塑透镜的模具、大尺寸线路板、光学器件，以及机械零件等等。

LS650样品台尺寸及平移范围，可达 650mm*650mm ， 可以在这一范围内实现拼接及脚本编程自动测量，具有亚纳米级垂直分辨率。

 各种白光轮廓仪表面纹理测试，常常需要量测尺寸大，重量大的样品，例如：

·             大尺寸的电子线路板；

·             注塑透镜的模具（如上图）；

·             高能激光应用中，大尺寸超光滑光学器件；

·             需要测试关键面的大尺寸机械零件；

·             有时被测样品需要特殊夹持机构，需要占用的空间大，负重要求高，也需要高负重，大尺寸样品台的解决方案。

 Nexview™LS650 系统基于ZYGO Nexview™NX2 测试头，继承了其高精度，高分辨率，良好环境适应性的优点。

LS650纵向分辨率优于0.1nm 埃级别，可以用于超光滑表面测量；LS650同样也具有抗振扫描 SureScan™技术，可以良好适应生产环境的振动影响。

Nexview™LS650 采用龙门结构，配置650mm*650mm平移范围的自动样品台；*大负重可达100KG，能良好适应大样品及附属夹具的尺寸，空间，和重量要求。