基本参数
旋转工作台：
回转精度：（0.025+6H/10000）μm
旋转工作台轴承类型：气浮
旋转速度：6rpm
工作台有效直径：180mm
较大承载：10kg
较大工件直径（回转直径）：420mm
较大测量直径：250mm
垂直轴（Z轴）：
垂直移动：320mm
垂直移动方式：电动
较大检测深度：100mm（较小内径：35mm）
水平臂（X轴）：
水平移动：100mm
突出量：25mm
水平移动方式：手动
检测器：
采集器件：圆光栅
圆周采样点数：4096点
传感器类型：电感传感器
传感器量程：±300μm
传感器分辨率：较高0.001μm
