特点
- 平整度测量例
- 边缘排除区1mm
- 边缘排除区3mm
- 放射状测量数据
- 边缘滚降分析
- 边缘鸟瞰图、截面图
<Edge Roll-off分析>
根据表面和背面同步检测得到的放射状测量结果,提供符合客户需求的分析软件。
性能、规格
项目 | NANOMETRO®300TT | NANOMETRO®200TT |
---|---|---|
量程 | φ300mm | φ200mm |
显示分辨率 | 1nm | |
测头 | 非接触激光位移计 | |
测量方式 | 纵向旋转方式 |
<Edge Roll-off分析>
根据表面和背面同步检测得到的放射状测量结果,提供符合客户需求的分析软件。
项目 | NANOMETRO®300TT | NANOMETRO®200TT |
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量程 | φ300mm | φ200mm |
显示分辨率 | 1nm | |
测头 | 非接触激光位移计 | |
测量方式 | 纵向旋转方式 |
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