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NANOMETRO® TT系列

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  • 公司名称平湖黑田精工有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质经销商
  • 更新时间 2022-10-20
  • 访问次数473
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高精密技术支撑世界产业发展。黑田精工本着P&P的经营理念与“Challenge & Create(挑战与创新)”的行动方针,不懈追求企业的持续发展,进步和革新。董事长黒田浩史黑田精工株式会社的前身是“黑田挟范制作所”,作为日本专业量规生产厂家成立于1925年。而量规是制造业的原点。那时日本工业尚处于黎明期,国产量规为日本工业近代化奠定了基础。之后,黑田精工基于的精密加工与计量技术研发了一系列的产品。例如,各式量规、电气-油压式脉冲电动机、电动机铁芯用精密冲压模具、精密磨床、镜头模具用磨床、精密加工用工具系统、精准定位用滚珠丝杠驱动系统、气动设备、高效率电动机铁芯、超精密形状测量装置等产品。从上世纪50年代开始的日本经济高速成长期至今,黑田精工不仅支撑着日本制造业,也随之共同成长,取得了长足的发展。进入21世纪,产业化的浪潮从发达国家波及到新兴国家。黑田精工以“通过高精密技术支撑世界产业发展”为使命,创业以来承继“高精密技术”为企业的核心竞争力,利用加工领域和计量领域的各种技术提供产业思维和对策方案,成为制造业的*。今后也衷心期望广大客户信任与支持黑田精工。“P&P”意为追求“高精密度(PRECISION)”和“高生产效率(PRODUCTIVITY)”,这是黑田精工的经营理念。
高精密平面磨床,滚珠丝杠
同步检验表面形状、背面形状和平整度!NANOMETRO®TT系列是用于纵向旋转、边缘夹持式晶圆的平整度测量装置。边缘排除区最小1mm,可进行盒至盒的高精度自动测量。评价项目依据SEMI标准。
NANOMETRO® TT系列 产品信息

特点

  • 平整度测量例

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  • 边缘排除区1mm

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  • 边缘排除区3mm

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  • 放射状测量数据

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  • 边缘滚降分析

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  • 边缘鸟瞰图、截面图

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<Edge Roll-off分析>
根据表面和背面同步检测得到的放射状测量结果,提供符合客户需求的分析软件。

性能、规格

项目NANOMETRO®300TTNANOMETRO®200TT
量程 φ300mm φ200mm
显示分辨率 1nm
测头 非接触激光位移计
测量方式 纵向旋转方式

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