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超高精度平面度测量装置 SF-640M

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称平湖黑田精工有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质经销商
  • 更新时间 2022-10-20
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高精密技术支撑世界产业发展。黑田精工本着P&P的经营理念与“Challenge & Create(挑战与创新)”的行动方针,不懈追求企业的持续发展,进步和革新。董事长黒田浩史黑田精工株式会社的前身是“黑田挟范制作所”,作为日本专业量规生产厂家成立于1925年。而量规是制造业的原点。那时日本工业尚处于黎明期,国产量规为日本工业近代化奠定了基础。之后,黑田精工基于的精密加工与计量技术研发了一系列的产品。例如,各式量规、电气-油压式脉冲电动机、电动机铁芯用精密冲压模具、精密磨床、镜头模具用磨床、精密加工用工具系统、精准定位用滚珠丝杠驱动系统、气动设备、高效率电动机铁芯、超精密形状测量装置等产品。从上世纪50年代开始的日本经济高速成长期至今,黑田精工不仅支撑着日本制造业,也随之共同成长,取得了长足的发展。进入21世纪,产业化的浪潮从发达国家波及到新兴国家。黑田精工以“通过高精密技术支撑世界产业发展”为使命,创业以来承继“高精密技术”为企业的核心竞争力,利用加工领域和计量领域的各种技术提供产业思维和对策方案,成为制造业的*。今后也衷心期望广大客户信任与支持黑田精工。“P&P”意为追求“高精密度(PRECISION)”和“高生产效率(PRODUCTIVITY)”,这是黑田精工的经营理念。
高精密平面磨床,滚珠丝杠
“让看不见的世界变成看得见”我公司开发的“超精密平面度测量装置 SF-640M”,是对精密平面磨床加工的模具等工件进行精度评价的系统。本机运用了我公司硅晶圆用超精密测量装置“NANOMETRO®”的技术与诀窍,实现了平面和边缘的高精度评价,并可采用鸟瞰图、截面图、等高线等不同方式对平面形状做出评价。
超高精度平面度测量装置 SF-640M 产品信息

特点

高精度运动结构!

采用高精度气动滑座、线性伺服马达等黑田超精密加工技术,实现了高水平的平面度测量。

操作简单,显示和解析功能丰富!

为了对测量结果做出的评价,运用在NANOMETRO®系列销售业绩中积累的经验,配备了我公司自行开发的各种显示和解析软件。

可对各种工件进行评价!

支持金属、陶瓷、玻璃、各种晶圆等各种工件。测头采用可根据客户所要求的评价项目和精度进行更换的设计,可对测定对象做出的评价。

安全性、操作性和高精度兼备,深思熟虑的结构设计!

配备大小2种测量工件拆装门,以保证安全性,同时可用起重机等设备装载工件,在设计中注重操作性。此外,通过将测量中的外部干扰影响控制在限度和将产生热量的电气装配部件分离,实现了高精度测量。

外观形状

SF-640exte.jpg

性能、规格

项目SF-640M
量程 (X × Y) 650mm × 450mm
综合测量精度 0.6μm (※1)
重复精度 0.1μm (※2)
显示分辨率 0.01μm
测头 非接触激光位移计、电子千分尺
最小数据周期 1μm
测量速度 0.5 ~ 50mm/sec
轴、导轨 陶瓷制气动导轨
驱动方式

X轴:线性马达

Y轴:伺服马达

工件重量 40kg
外观尺寸 W1820mm × D1200mm × H1550mm
主体的重量 1000kg
适用电源 AC200V (50/60Hz) 15A
适用压缩空气 洁净干燥空气 0.5MPa
空気流量 100L/min (ANR)
工件高 50mm
设置环境

室温:20ºC ~ 25ºC(波动在1ºC以下)

地面承重强度:耐荷载9800N/m2以上

※1 平晶测量时的全面PV值
※2 重复平晶测量10次时的全面PV值的标准偏差σ

关于样品测量

我公司随时承接样品测量。有需求的客户请使用下方的“垂询表”进行垂询。

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