产品优势
- 01皮秒光源，效果好
采用皮秒光源，在材料表面进行打标/打码，热影响小，效果好
- 02打标/打码支持多种格式可支持：QRCode、DMCode、线体文字等多种格式
- 03支持信息上传
配备读码模块，支持信息上传MES系统
- 04兼容性及自动化程度高
设备兼容8-12inch晶圆，全自动上下料
- 05自动开关，节省人工配备Load机构，可自动打开/关闭晶圆料盒
- 06大理石基座，稳定性高
采用大理石基座，光路系统稳定，从而保证高质量的光学传输
技术参数
| HD S2113 | 主要技术参数 | |
| 激光器参数 | 平均输出功率 | ≥5W（选配） |
| 脉冲宽度 | ＜10ps | |
| 激光波长 | 光源选配 | |
| 直线电机参数 CCD定位系统 读码系统 | 电机行程 | 450*650mm |
| 像素 | 1200万像素，定位精度0.003mm | |
| 像素 | 600万像素 | |
| 加工精度 | 定位精度 | ≤±0.03mm |
| 加工尺寸精度 | ≤±0.02mm | |
| 搬运机器人 | 机器人手臂数 | 单/双臂 |
| Finger | 夹持/吸附 | |
| 其他功能 | 上料机 | 是 |
| Mapping功能 | 是 | |
| 寻边机 | 兼容8- 12inch | |
| 通用指标 | 洁净等级 | 百级500 |
| 设备尺寸 | 1900mm*1800mm*1950mm（主体） | |
| 设备重量 | 约2.5t | |
样品展示
各类晶圆打标示意图
