< 50nm 结深控制
低至 10nm 以内的峰值浓度深度控制
优异的杂质形貌分布和均匀性
WPH 高达 25
完整的全程监控反馈功能
背照式图像传感器晶圆
项目 | LA2515 |
晶圆尺寸 | 4/6、6/8 inch 兼容 |
激光功率 | 15W/13W |
典型扫描时间 | 90 sec/p@ 6 inch |
激光能量密度 | 0.3-3J/cm² |
激活率 | ≥ 95% @B Implant |
均匀性 | 片内:≤ 1%,片间:≤ 1%,@6 inch,RS |
自动传片系统 | 双 LoadPort、多关节机器手、预准直器 |
< 50nm 结深控制
低至 10nm 以内的峰值浓度深度控制
优异的杂质形貌分布和均匀性
WPH 高达 25
完整的全程监控反馈功能
背照式图像传感器晶圆
项目 | LA2515 |
晶圆尺寸 | 4/6、6/8 inch 兼容 |
激光功率 | 15W/13W |
典型扫描时间 | 90 sec/p@ 6 inch |
激光能量密度 | 0.3-3J/cm² |
激活率 | ≥ 95% @B Implant |
均匀性 | 片内:≤ 1%,片间:≤ 1%,@6 inch,RS |
自动传片系统 | 双 LoadPort、多关节机器手、预准直器 |
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