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硅基浅结/超浅结晶圆激光快速退火系统

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称成都莱普科技股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地
  • 厂商性质经销商
  • 更新时间 2022-01-02
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莱普科技成立于2003年,由广东东骏集团出资组建。经过十余年的发展,已成长为国内的激光专用加工设备研发、制造、销售和服务的。公司具备深厚的技术研发和系统集成能力,承担了多项部委、省市级重点技术创新项目,拥有五十多项及软件著作权等自主核心知识产权,现已成为国内主要的行业应用激光设备供应商之一。 莱普科技致力于激光技术在专业细分市场的应用,始终坚持以满足客户需求为己任,以技术创新为手段,以快速周到的服务赢得市场。多年来,在半导体晶圆制造、封装测试、*封装、电子精密制造以及电子领域,推出了四大类三十余种激光专用装备,为中国激光工业应用的推广、产业升级换代和专用装备国产化做出独献。 莱普科技秉承”顾客为本,追求”的企业理念,在深圳、无锡、西安、长春等地设有常驻服务机构,竭诚为广大客户提供全面、高效的技术支持和售后服务。
激光标刻机,激光钻孔/切割/划片机,激光玻璃切割机
晶圆获得极浅的原始杂质离子注入后,采用激光瞬间退火来激活杂质,并精确控制注入离子的峰值深度,保证注入杂质不发生明显的扩散再分布,获得合格的超浅结源漏区。
硅基浅结/超浅结晶圆激光快速退火系统 产品信息
产品特点

< 50nm 结深控制

低至 10nm 以内的峰值浓度深度控制

优异的杂质形貌分布和均匀性

WPH 高达 25

完整的全程监控反馈功能


应用产品类型

背照式图像传感器晶圆



技术指标
项目LA2515
晶圆尺寸4/6、6/8 inch 兼容
激光功率15W/13W
典型扫描时间90 sec/p@ 6 inch
激光能量密度0.3-3J/cm²
激活率≥ 95% @B Implant
均匀性片内:≤ 1%,片间:≤ 1%,@6 inch,RS
自动传片系统双 LoadPort、多关节机器手、预准直器


关键词:传感器

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