半导电电阻率测试仪参数
1. 便于查看的显示/直观的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD显示；操作易学，直观使用；
2. 基本设置操作简单，方阻、电阻、电阻率、电导率和分选结果；多种参数同时显示。
3. 精度高：电阻基本准确度： 0.05％；方阻基本准确度：3%；电阻率基本准确度：3%
4. 整机测量相对误差：≤±3%；整机测量标准不确定度：≤±3%
5. 四位半显示读数；八量程自动或手动测试；
6. 测量范围宽： 电阻：10-4Ω－105Ω ；方阻：10-4Ω/□－105Ω/□；
7. 正反向电流源修正测量电阻误差
8. 恒流源：电流量程分为： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六档；仪器配有恒流源开关可有效保护被测件，即先让探针头压触在被测材料上，后开恒流源开关，避免接触瞬间打火。为了提高工作效率，如探针带电压触单晶对材料及测量并无影响时，恒流源开关可一直处于开的状态。
9. 可配合多种探头进行测试；也可配合多种测试台进行测试。
10. 校正功能：可手动或自动选择测试量程 全量程自动清零。
11. 厚度可预设，自动修正样品的电阻率,无需查表即可计算出电阻率。
12. 自动进行电流换向,并进行正反向电流下的电阻率(或方块电阻)测量,显示出平均值.测薄片时,可自动进行厚度修正。
13. 双电测测试模式，测量精度高、稳定性好.
14. 具备温度补偿功能，修正被测材料温漂带来的测试结果偏差。
15. 比较器判断灯直接显示，勿需查看屏幕，作业效率得以提高。
3档分选功能：超上限，合格，超下限，可对被测件进行HI/LOW判断，可直接在LCD使用标志显示；也可通过USB接口、RS232接口输出更为详细的分选结果。
16. 测试模式：可连接电脑测试、也可不连接电脑单机测试。
17. 丰富的接口，Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。实现远程控制。U盘可记录测试数据
18. 软件功能（选配）：软件可记录、保存、各点的测试数据；可供用户对数据进行各种数据分析。
序号 | 功能 | 存储地址 | 数据 | |||
小数点前 3 位+后 5 位(30h-39h,即 ASCII 的 0-9) | ||||||
01 | 设置电阻上限 | 10A1H | + 单位 (u Ω ,m Ω , Ω ,k Ω ,M Ω ; 对应的 16 进制码为 | |||
75h,6dh,4f,6b,4dh,即 ASCII 的 u,m,O,k,M) | ||||||
+00H | ||||||
02 | 设置电阻下限 | 10A2H | 同上 | |||
03 | 设置方阻上限 | 10A3H | 同上 | |||
04 | 设置方阻下限 | 10A4H | 同上 | |||
小数点前 3 位+后 5 位(30h-39h,即 ASCII 的 0-9) | ||||||
+单位 1(uΩ ,mΩ ,Ω ,kΩ ,MΩ;对应的 16 进制码为 | ||||||
05 | 设置电阻率上限 | 10A5H | 75h,6dh,4f,6b,4dh,即 ASCII 的 u,m,O,k,M) | |||
+单位 2(16 进制码对应的含义:00H 为 m,01H 为 cm,02H | ||||||
为 mm,03H 为 um,04H 为 nm) | ||||||
06 | 设置电阻率下限 | 10A6H | 同上 | |||
07 | 设置电导率上限 | 10A7H | 同上 | |||
08 | 设置电导率下限 | 10A8H | 同上 | |||
09 | 设置探针间距 | 10A9H | 小数点前 3 位+后 5 位(30h-39h,即 ASCII 的 0-9) | |||
+00H 00H | ||||||
小数点前 3 位+后 5 位(30h-39h,即 ASCII 的 0-9) | ||||||
10 | 设置样品厚度 | 10AAH | +单位(16 进制码对应的含义:00H 为 mm,01H 为 um,02H | |||
为 nm)+00H | ||||||
11 | 设置温度系数 | 10A0H | 符号（+(2bh)/-(2dh))+小数点后 6 位(数字 30h-39h) | |||
00H 00H 00H | ||||||
10 | 设置探针形状 | 10ACH | 直排(00H)或方形(01H) 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | |||
00H 00H | ||||||
07 | 设置单位转换 | 10ADH | 单位转换(00H:m 01H:cm 02H:mm 03H:um 04H:nm) 00H | |||
00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||
08 | 设置速度 | 10AEH | 速度(00H:快 01H:慢) 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | |||
00H | ||||||
量程(00H:自动 01H:200mΩ 02H:2Ω 03H:20Ω | ||||||
09 | 设置量程 | 10B1H | 04H:200Ω 05H:2KΩ 06H:20KΩ 07H:200KΩ 08H:2M | |||
Ω) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | |||||
测量模式(00H:双电测 01H:单电测双向 02H:单电测正 | ||||||
010 | 设置测量模式 | 10B2H | 向 03H:单电测反向) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||
00H | ||||||
011 | 设置清零 | 10B3H | 清零(00H:关 01H:开) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||
00H 00H | ||||||
012 | 设置温补开关 | 10B4H | 温补(00H:关 01H:开) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||
40
00H | 00H | ||||||||||
013 | 设置补偿温度 | 10B5H | 符号（+(2bh)/-(2dh))+十位+个位(30h-39h,即 ASCII | ||||||||
的 0-9) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||||||
十位+个位(30h-39h,即 ASCII 的 0-9).如要设置平均为 | |||||||||||
014 | 设置平均 | 10B6H | 98.则数据位为 39H+38H+00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||||
00H | |||||||||||
015 | 设置讯响 | 10B7H | 讯响(0:合格 1:不合格 2:关) | 00H 00H 00H 00H 00H | |||||||
00H | 00H | 00H | 00H | ||||||||
019 | 设置触发源 | 10B8H | 触发源(00H | 内部 01H:外部) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||
00H | 00H | 00H | |||||||||
021 | 设置触发沿 | 10B9H | 触发沿(0:下降沿 1:上升沿) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H | |||||||
00H | 00H | 00H | |||||||||
022 | 设置按键音 | 10BAH | 按键音(00H:关 01H:开) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | |||||||
00H | 00H | ||||||||||
024 | U 盘记录按钮 | 10BBH | U 盘开关(00H:关 01H:开) | 00H 00H 00H 00H 00H 00H | |||||||
00H | 00H | 00H | |||||||||
025 | 触发信号 | 10BCH | 01H 00H | 00H | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||
026 | 显示开关 | 10BDH | 显示开关(00H:开 01H:关) 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||||
00H | 00H | ||||||||||
027 | 参数切换 | 10BEH | 01H 00H | 00H | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||
028 | 电流模式 | 10C1H | 电流模式(00H:小电流 01H:大电流) 00H 00H 00H 00H | ||||||||
00H | 00H | 00H | 00H 00H | ||||||||
029 | 电流开关 | 10C2H | 00H 00H | 00H | 00H 00H 00H 00H 00H 00H 00H | ||||||
半导电电阻率测试仪传统四探针方法的原理如图 1 所示,局限于 I14 V 23 单一状态,它要求探针间距相等,被测物较小或探针在边界附近,需做几何测量继而进行边界修正,造成不便且有时难以保证准确度. 这种方法只是普遍规律中的一个特例 ,并非四探针技术之全貌. 所谓双电测是指让电流先后通过不同的探针对,测量相应另外两针间电压,进行组合,按相关的公式求出电阻值. 这时几何影响消失,针距和边界的负面效应将不存在,四探针将实现“自我修正”,误差减小. 双电测法共有三种组合模式,即 Mode1 、Mode2 、Mode3
1. 测试参数：电阻、方阻、电阻率、电导率
2. 测试模式：双电测
3. 精度：电阻基本精度：≤20mΩ 0.2％
20mΩ－200KΩ 0.05％
方阻基本精度：≤3％
电阻率基本精度：方阻≤3％
整机测量相对误差：≤±5%；
4. 整机测量标准不确定度：≤±3%
5. 电流模式：正向、反向、双向
6. 恒流源：电流量程分为： 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
7. 可手动或自动选择测试量程。
8. 测量范围： 电阻：10-4Ω－2*105Ω
方阻：10-4Ω/□－2*105Ω/□
电阻率和电导率范围由仪器内部公式计算得到
9. 显示范围：四位半数字显示读数。
10. 测试端：4 端屏蔽（包括 2 个检测端和 2 个驱动端）和外屏蔽地端。
11. 3档分选功能：不合格，合格
12. 环境：
1) 储存：温度 0℃～ 50℃ 湿度 <80% RH
2) 工作：温度0℃～ 40℃ 湿度<80% RH
13. 电源：AC输入电压： 198～ 242V（220± 10 ％）频率：50/60Hz，功率：30VA
保险丝：0.5A 慢熔
14. 重量：约 4.8kg （带包装重量）。净重：约3.8kg
15. 随机附件：使用说明书、测试报告、质保证书、保修卡、装箱单、仪器、电源
线 、保险丝、 USB通讯线 RS232通讯线、四端测试线、测试探头(含探针)
（任选一种）
测试探头：按需选择探针材料和探针间距,详情见探头探针选型表测试架：
按需选择不同的测试架
