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直驱机构式压电扫描台

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  • 公司名称哈尔滨芯明天科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号N63XY
  • 所  在  地
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2020-08-10
  • 访问次数411
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哈尔滨芯明天科技有限公司是专业从事微运动器(压电陶瓷)和微运动控制器(压电陶瓷控制器)产品的开发、生产、销售及服务的高科技企业,我们的微运动器和微运动控制器产品是推动微制造、微工业、微军事、微生物、微医疗、微光学等微观领域发展的核心技术,是了解和操纵微观世界的机器心脏。

   哈尔滨芯明天科技有限公司经过多年的项目研究与技术积累,拥有了自己的核心技术,开发出了系列化的微运动器与微运动控制器产品,广泛地应用于国内各高校、科研院所及生物显微镜、光学仪器、燃油喷射系统、微小器件加工机床的公司;公司与哈尔滨工业大学的多个研究所有着多年的密切合作关系,按照科研与产业化相结合的道路持续发展;公司拥有雄厚的技术储备和研发制造能力,并且拥有一群充满热情和富有创新能力的青年队伍。

   微运动器(压电陶瓷)产品是微小运动或微小变化的执行器,典型特点是体积小、重量轻、输出力大、功耗低、运动速度快、运动精度高、运动分辨率高。

   微运动控制器(压电陶瓷控制器)产品是控制微运动器如何产生和产生多大的微小运动或变化的控制器,与微运动器配套使用;具有液晶显示、智能控制算法、驱动功率大、嵌入式计算机控制等特点。

 

压电偏转镜,压电纳米扫描台,传感器,控制器
直驱机构式压电扫描台 N63压电扫描台为二维XY轴扫描平台,一体式结构设计原理,压电陶瓷直驱机构,可实现8μm的扫描范围,台体高度仅为17mm,闭环版本具有超高的定位精度,适用于显微扫描等应用。
直驱机构式压电扫描台 产品信息

直驱机构式压电扫描台 N63压电扫描台为二维XY轴扫描平台,一体式结构设计原理,压电陶瓷直驱机构,可实现8μm的扫描范围,台体高度仅为17mm,闭环版本具有超高的定位精度,适用于显微扫描等应用。

直驱机构式压电扫描台特性

• 二维XY向运动,zui大行程8μm/轴 • zui大承载3kg

• 台体中心方形通孔,尺寸为Ø62mm • 内置高性能压电陶瓷

• 开环、闭环可选

外观形状

产品运动示意图

台体采用直驱式结构设计,出力大

一体式超薄结构、高分辨率、闭环精度高

频率负载曲线

压电陶瓷嵌套式一体结构

N63压电扫描台为XY二维平移扫描台,平台采用柔性铰链导向压电陶瓷直驱的机构设计,具有无间隙、无后坐力、无摩擦等特点,使其具有超高的分辨率达0.2nm。

可选择内置高性能传感器实现8×8μm范围内超高的定位精度。

N63压电扫描台由于具有超薄的结构,台体仅为17mm,中心通孔非常便于与显微镜配套安装。

N63压电扫描台采用压电陶瓷直驱机构设计原理,嵌套式机构使其具有非常良好的动态性能。

平稳和精确的扫描圆形驱动

精准圆形驱动控制,可以通过精切定位XY平台的每一轴,采用正弦波90°相差输入,也可以通过PID修正位移进行调整,根据频率幅值以及负载使得驱动控制平稳精确。

应用

• 图像处理与稳定 • 精密定位 •光学捕获 • 扫描显微 • 干涉/计量 • 半导体测试 • 表面检测 • 光学计量 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 掩模/晶圆定位 • 生物技术 • 表面结构分析

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