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芯明天放大机构式压电扫描台

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公司名称哈尔滨芯明天科技有限公司
品牌
型号P78Z
所在地
厂商性质生产厂家
更新时间 2020-08-10
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公司介绍主营产品

哈尔滨芯明天科技有限公司是专业从事微运动器（压电陶瓷）和微运动控制器（压电陶瓷控制器）产品的开发、生产、销售及服务的高科技企业，我们的微运动器和微运动控制器产品是推动微制造、微工业、微军事、微生物、微医疗、微光学等微观领域发展的核心技术，是了解和操纵微观世界的机器心脏。

哈尔滨芯明天科技有限公司经过多年的项目研究与技术积累，拥有了自己的核心技术，开发出了系列化的微运动器与微运动控制器产品，广泛地应用于国内各高校、科研院所及生物显微镜、光学仪器、燃油喷射系统、微小器件加工机床的公司；公司与哈尔滨工业大学的多个研究所有着多年的密切合作关系，按照科研与产业化相结合的道路持续发展；公司拥有雄厚的技术储备和研发制造能力，并且拥有一群充满热情和富有创新能力的青年队伍。

微运动器（压电陶瓷）产品是微小运动或微小变化的执行器，典型特点是体积小、重量轻、输出力大、功耗低、运动速度快、运动精度高、运动分辨率高。

微运动控制器（压电陶瓷控制器）产品是控制微运动器如何产生和产生多大的微小运动或变化的控制器，与微运动器配套使用；具有液晶显示、智能控制算法、驱动功率大、嵌入式计算机控制等特点。

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压电偏转镜,压电纳米扫描台,传感器,控制器

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芯明天放大机构式压电扫描台 P78压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心方形通孔尺寸为6464mm，放大机构内置高性能压电陶瓷，可以实现 Z轴210μm或300μm的位移行程，优异的柔性铰链导向机构具有超高的定位精度，适用于需要大行程精密定位的应用领域。

芯明天放大机构式压电扫描台产品信息

芯明天放大机构式压电扫描台?

P78系列压电扫描台为一维Z轴运动平台，压电平台中心方形通孔尺寸为64×64mm，放大机构内置高性能压电陶瓷，可以实现 Z轴210μm或300μm的位移行程，优异的柔性铰链导向机构具有超高的定位精度，适用于需要大行程精密定位的应用领域。

P78压电扫描台特性：

• Z轴运动 • 开环闭环可选 • 大行程300μm • 闭环重复定位精度高

芯明天放大机构式压电扫描台典型应用

• 显微成像 • 表面检测

• 干涉/计量 • 精密定位

• 生物技术 • 微操作

大通孔、大位移、高分辨、高精度

P78系列压电扫描台，采用机构放大设计原理，可以实现 Z轴210μm或300μm的位移行程。优异的柔性铰链导向机构采用有限元分析进行优化实现纳米级的分辨率、毫秒级的响应时间。

P78系列压电扫描台可选择配置闭环传感器，对位移实现实时监测并反馈给闭环压电控制器，实现纳米级精密控制。扫描台台体中心通孔尺寸64×64mm，适用于干涉、扫描、表面检测等应用。

闭环重复定位精度高

P78. Z压电扫描台满幅值300μm的闭环重复定位精度为 0.05%。

P78压电扫描台技术参数：

型号	尾缀S-闭环尾缀K-开环	P78.Z200S P78.Z200K	P78.Z300S P78.Z300K	单位
运动自由度		Z	Z
标称行程范围（0~120V）		150	210	μm±20%
大行程范围（-20~150V）		210	300	μm±20%
传感器类型		SGS/-	SGS/-
通孔尺寸		64×64	64×64	mm
闭/开环分辨率		7/3	10/5	nm
闭环线性度		0.1/-	0.15/-	%F.S.
闭环重复定位精度		0.04/-	0.05/-	%F.S.
俯仰/偏航/滚动		<20	<30	µrad
推/拉力		50/8	30/5	N
运动方向刚度		0.35	0.15	N/μm±20%
空载谐振频率		300	150	Hz±20%
闭/开环空载阶跃时间		15/3.2	30/3.2	ms±20%
闭环空载工作频率	10%行程	80	50	Hz±20%
闭环空载工作频率	*行程	15	10	Hz±20%
大承载		1.5	0.5	kg
静电容量		7.2	7.2	μF±20%
材质		铝	铝
重量		340	340	g±5%