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芯明天直驱机构式压电扫描台

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  • 公司名称哈尔滨芯明天科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       号P77Z
  • 所  在  地
  • 厂商性质生产厂家
  • 更新时间 2020-08-10
  • 访问次数435
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哈尔滨芯明天科技有限公司是专业从事微运动器(压电陶瓷)和微运动控制器(压电陶瓷控制器)产品的开发、生产、销售及服务的高科技企业,我们的微运动器和微运动控制器产品是推动微制造、微工业、微军事、微生物、微医疗、微光学等微观领域发展的核心技术,是了解和操纵微观世界的机器心脏。

   哈尔滨芯明天科技有限公司经过多年的项目研究与技术积累,拥有了自己的核心技术,开发出了系列化的微运动器与微运动控制器产品,广泛地应用于国内各高校、科研院所及生物显微镜、光学仪器、燃油喷射系统、微小器件加工机床的公司;公司与哈尔滨工业大学的多个研究所有着多年的密切合作关系,按照科研与产业化相结合的道路持续发展;公司拥有雄厚的技术储备和研发制造能力,并且拥有一群充满热情和富有创新能力的青年队伍。

   微运动器(压电陶瓷)产品是微小运动或微小变化的执行器,典型特点是体积小、重量轻、输出力大、功耗低、运动速度快、运动精度高、运动分辨率高。

   微运动控制器(压电陶瓷控制器)产品是控制微运动器如何产生和产生多大的微小运动或变化的控制器,与微运动器配套使用;具有液晶显示、智能控制算法、驱动功率大、嵌入式计算机控制等特点。

 

压电偏转镜,压电纳米扫描台,传感器,控制器
芯明天直驱机构式压电扫描台 P77压电扫描台为一维Z轴运动平台,压电平台中心为106mm大通光孔,压电陶瓷直驱机构,内置高性能压电陶瓷,可以实现Z 轴20μm的位移行程,无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率,闭环版本定位精度可达纳米级,是光学移相器的选择。
芯明天直驱机构式压电扫描台 产品信息

芯明天直驱机构式压电扫描台P77系列压电扫描台为一维Z轴运动平台,压电平台中心为106mm大通光孔,压电陶瓷直驱机构,内置高性能压电陶瓷,可以实现Z 轴20μm的位移行程,无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率,闭环版本定位精度可达纳米级,是光学移相器的选择。

芯明天直驱机构式压电扫描台P77压电扫描台典型应用

• 显微成像

• 表面检测

• 闭环重复定位精度高

• 干涉/计量

• 精密定位

• 移相器 •

光学捕获

应用案例

大孔径、大承载、高谐振频率

P77系列压电扫描台采用优异的柔性铰链导向机构设计, 利用有限元分析优化, 刚度可达8 N/ μm,空载谐振频率 300Hz。

闭环版本内置高精度传感器,对位移实时监测反馈,可 实现纳米级的重复定位精度及线性度。

压电扫描台中心106mm的大通光孔,该产品已广泛应用于激光平面干涉仪等设备。

芯明天P77压电移相器以其大通孔、纳米级分辨率、高精度等特 点广泛应用于现代干涉仪中,大大提高了干涉仪的测量精度。

P77压电扫描台特性:

Z轴运动

• 大行程20μm

• 大承载5kg

• 通孔直径:Ø106mm

技术参数:

型号

尾缀S-闭环 尾缀K-开环

P77.Z20S P77.Z20K

单位

运动自由度

Z

标称行程范围(0~120V)

14

μm±20%

大行程范围(-20~150V)

20

μm±20%

传感器类型

SGS/-

通孔尺寸

Ø106

mm

闭/开环分辨率

1/0.5

nm

闭环线性度

0.2/-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.1/-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

<10

µrad

推/拉力

120/50

N

运动方向刚度

8

N/μm±20%

空载谐振频率

300

Hz±20%

闭/开环空载阶跃时间

5/2.5

ms±20%

闭环空载 工作频率

10%行程

60

Hz±20%

*行程

10

大承载

5

kg

静电容量

5.4

μF±20%

材质

重量

1600

g±5%

关键词:传感器

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