聚焦离子束FIB扫描电镜轻松实现3D可视化

近年来发展起来的聚焦离子束技术(FIB)采用高强度聚焦离子束纳米加工材料，并结合扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)三维原子探针(APT)分析电镜技术已成为纳米级分析，制造的主要手段。现已在新材料和半导体集成电路等领域得到广泛的应用。

随着电镜工具的技术水平不断提高，面对各类严苛的应用诉求，想必会更容易给予充分满足，这也是学术界和工业界的应用力度，都能够在此基础上持续加大的原因所在，要知道聚焦离子束扫描电子显微镜在面对样品和材料的高度局部表征的挑战时，游刃有余的应变能力是有目共睹的。其实如今对于电镜工具的应用范围已经明显拓宽，说明在各类应用中都取得了显著成效，以此作为契机确定工具应用策略便会事半功倍。 

材料分析对结构和组份信息的获取有着优越性，而纳米级的结构和组分信息，仅凭常规分析方式和电镜工具是远远不够的，而是要结合具体的工作流程，科学搭配功能匹配的关键工具。既然如今可选择的电镜工具已经体现出功能多样化的优势，用来实现断层扫描3D可视化也就并非难事，相信这对大部分的材料分析来说都是值得尝试的。

当然，如今对于电镜工具所采用应用策略依然存在差异，并且可以在不同行业领域和应用场景中做出相应调整，这对聚焦离子束扫描电子显微镜优势功能的充分利用无疑是保障作用的。正是因为电镜作为关键工具，在功能实用性和易用性上有着得天独厚的优势，才会在各类材料和样品的研究分析中，逐步加大应用力度并且取得显著成效。 

由此作为参考可以发现，电镜工具对各类应用场景具有良好应变能力，从而为创造更大价值提供了便利条件，既然如此结合行业要求，确定电镜工具的应用方式便不失为明智之举。能够在当前的技术形势下，将电镜工具的各类功能合理区分，自然能够在应用方向的确定方面做出更有说服力的准确判断。