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ATLEX-300-FBG/ATLEX-500-FBG準分子雷射

ATLEX-300-FBG/ATLEX-500-FBG準分子雷射
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更新时间：2023-10-13 10:14:00浏览次数：209次

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产品简介
Ultra-compact

详情介绍

ATL Lasertechnik
Ultra-compact, high efficient excimer laser for Fiber Bragg Grating (FBG) writing
ATLEX-300-FBG/ATLEX-500-FBG準分子雷射特點：
  • Soft corona preionization
  • HV-solid state pulser
  • Laser head volume <>
  • TMC (Total-Metal-Ceramic) Vessel
  • Integrated vacuum pump & halogen filter
  • Air Cooled / Optional Liquid Cooled, active thermal management
  • RS-485, RS232, USB and fiber optic Interface for system integration
  • Flushable optics holder
  • Energy stabilization mode
  • Meets European CE-standard
  • RoHS compliance
ATLEX-300-FBG/ATLEX-500-FBG準分子雷射 主要參數
ATLEX-300-FBG/ATLEX-500-FBG Specifications
Gas Medium
ArF KrF Units
Wavelength
193 248 nm
High Voltage Switching Technique
Solid State Switch
Max. Pulse Energy 1
10 15 mJ
Max. Average Power
 2.4 / 4.0  4.0 / 6.5  W
Spatial Coherence (Vertical Beam Direction) >300 >300 µm
Max. Rep Rate
 300 / 500  Hz
Pulse Duration 2
5 – 8 ns
Beam Dimensions 2 (V x H)
4 x 6 mm
Beam Divergence 2 (V x H)
1 x 2 mrad
Energy Stability (standard deviation)
<> %
Dimensions (LxWxH) click here for details
540 x 470 x 370 mm
Weight
60 kg
Cooling
Cooling Air / Optional Liquid  
Power requirement
230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz  

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