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ATLEX-1000-I準分子雷射

ATLEX-1000-I準分子雷射
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更新时间：2023-10-13 10:07:18浏览次数：331次

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产品简介
ATLEX-1000-I準分子雷射

详情介绍

ATL Lasertechnik
全新1kHz版本,經實際驗證的ATLEX-I雷射器
ATLEX-1000-I準分子雷射 特點
  • 預先電離產生脈衝
  • 高壓固態脈衝產生器
  • 雷射頭體積 <>
  • TMC（全金屬陶瓷）雷射管
  • 集成真空泵和鹵素過濾器
  • 風冷/可選液冷，主動熱管理系統
  • 用於系統集成的 RS-485、RS232、USB 和光纖接口
  • 可清洗的光學支架
  • 能量穩定
  • 符合歐洲 CE 標準
  • RoHS 合規
ATLEX-1000-I準分子雷射 應用：
  • 微加工
  • 雷射燒蝕
  • 醫學（屈光雷射近視手術）
  • 光譜學
  • 計量學
ATLEX-1000-I準分子雷射 主要參數
ATLEX-1000-I Specifications
Gas Medium
ArF KrF Units
Wavelength
193 248 nm
High Voltage Switching Technique
Solid State Switch
Max. Pulse Energy 1
10 15 mJ
Max. Average Power
8
 		 10
 		 W
Max. Rep Rate
 1000
 		 Hz
Pulse Duration 2
5 – 8 ns
Beam Dimensions 2 (V x H)
4 x 6 mm
Beam Divergence 2 (V x H)
1 x 2 mrad
Energy Stability (standard deviation)
<> %
Dimensions (LxWxH) click here for details
540 x 470 x 370 mm
Weight
60 kg
Cooling
Cooling Air / Optional Liquid  
Power requirement
230 VAC / 10 A / 1 phase / 50-60 Hz  
All specifications are typical data and subject to change without notice due to product improvements.
  • Measured at low rep.rates; allow 10% reduction of output energy and power for laser equipped with stabilization mode.
  • Typical value, FWHM

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