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首昂光电(上海)有限公司
产地 | 国产 | 冷却方式 | 风冷 |
---|---|---|---|
驱动方式 | 伺服电机 |
晶圆全自动裂片机
产品介绍:
1)广角轮廓相机,进行轮廓识别,自动校正硅片角度;
2)高精度CCD相机,进行全自动水平修正及位置修正;
3)压力可控,实时显示压力数值;
4)自动覆膜、喷液、放片;
5)带连片检测功能,无连片;
6)可兼容4英寸、5英寸的晶圆片;
7)全自动上下料功能,无人值守式全自动运行(料盒方式,整盒上下料),产品批量化生产。
晶圆全自动裂片机
产品介绍:
1)广角轮廓相机,进行轮廓识别,自动校正硅片角度;
2)高精度CCD相机,进行全自动水平修正及位置修正;
3)压力可控,实时显示压力数值;
4)自动覆膜、喷液、放片;
5)带连片检测功能,无连片;
6)可兼容4英寸、5英寸的晶圆片;
7)全自动上下料功能,无人值守式全自动运行(料盒方式,整盒上下料),产品批量化生产。
技术参数:
设备型号 MSW-WSU-A
控制方式 PLC+触摸屏+电脑主机
对位方式 相机识别自动对位
传送方式 伺服电机
裂片力度 压力传感器(压力大小可调)
喷液喷头 雾状喷头
故障处理 各个故障都带报警提示功能
端口 预留MES端口
加工定位方式 自动上下料&自动对位
效率(裂片) >120片/h
应用范围:
适用于半导体产业中的GPP晶圆的裂片。
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商铺:https://www.jc35.com/st255595/
主营产品:晶圆激光切割机,晶圆激光划片机,晶圆激光刻号机,全自动匀胶机,韩国进口LS DD马达(力矩电机),晶圆激光焊接机、激光打孔机
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