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首昂光电(上海)有限公司
产地 | 国产 | 激光器波长 | 1064nm |
---|---|---|---|
激光器功率 | 20W | 切割厚度 | 0.1mm |
切割速度 | 150mm/s | 驱动方式 | 伺服电机 |
售后保修期 | 12个月 | 外形尺寸(长×宽×高) | 1350*800*1700mm |
重复定位精度 | 0.002mm | 重量 | 680kg |
晶圆激光切割机
Wafer Laser Cutting Machine
产品特点:
划片速度快,效率高,成片率高,切割速度150mm/s
非接触式加工,无机械应力,适合切脆性易碎硅晶圆
CCD快速定位功能,实时同轴监视或旁轴监视功能
高精度二维直线运动平台,高精度D D旋转平台
大理石基台,稳定可靠,热变形小
专业操控系统
全中文操作界面,操作直观、简易,界面良好
无需砂轮刀、蓝
晶圆激光切割机
Wafer Laser Cutting Machine
产品特点:
划片速度快,效率高,成片率高,切割速度150mm/s
非接触式加工,无机械应力,适合切脆性易碎硅晶圆
CCD快速定位功能,实时同轴监视或旁轴监视功能
高精度二维直线运动平台,高精度D D旋转平台
大理石基台,稳定可靠,热变形小
专业操控系统
全中文操作界面,操作直观、简易,界面良好
无需砂轮刀、蓝膜、去离子水等耗材
高可靠性和稳定性
划片质量高,玻璃钝化层无崩裂和微裂纹。
应用领域:
广泛应用于集成电路晶圆、GPP晶圆的划线切割以及T VS晶圆的划线切割。
产品参数:
设备型号 SA-IR20W SA-UV15W
激光波长 1064nm 355nm
激光功率 20w/30w 5w/10w/17w
*大加工晶圆尺寸3-5寸 4寸
划线速度 150mm/s 70mm/s
划线线宽 35~45μm 20~30μm
划线线深 < 120μm(视材料而定) 50-100μm
系统定位精度 5μm 5μm
重复定位精度 2μm 2μm
激光器使用寿命10 万小时 1.2 万小时
设备尺寸 1350*800*1700mm 1350*800*1700mm
整机重量 680kg 680kg
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商铺:https://www.jc35.com/st255595/
主营产品:晶圆激光切割机,晶圆激光划片机,晶圆激光刻号机,全自动匀胶机,韩国进口LS DD马达(力矩电机),晶圆激光焊接机、激光打孔机
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