详细介绍
X轴采用气浮导轨,可满足高精度的加工需求
- Φ150 mm
- 单主轴
可对应广泛的产品应用
加工物尺寸直径6英寸,特殊选配可加工150×150 mm的加工物。高扭矩2.0 KW的标配主轴,可以灵活地对应难切割材料的加工。
采用了宽敞的水箱结构,以及X轴有充足行程的构造。
可对应高精度・高品质的加工
X轴的结构充分发挥气浮导轨的特性,实现了直线度的提高。
Y轴标准配置的光栅尺可以稳定地进行轴控制,发挥更高的定位精度。根据这些功能,可满足精度要求较高的光学部品及磁头等产品的切割、开槽等精密加工需求。
提高生产效率
提高了Z轴的移动速度。

提高加工效率
新型非接触式测高功能(Non-Contact Setup/ 选配),对工作台的刀片测高时间缩短了74%。因为提高了测量精度,使加工品质更加稳定。除此之外,显微镜环形照明的开灯方向可以切换3种模式,提高了切痕检测的识别率。可对应SECS/GEM通信系统。

操作简便
- XIS (Extended Interface System)
操作按钮集中于显微镜页面 - Wafer mapping
与全自动机型相同,以图示显示切割的进度状态 - Log viewer
以图示表示类比数据,可视化切割参数 - Help viewer
异常发生时显示对应措施,有助于迅速切实地恢复设备状态




便捷的保养特性
配置了显微镜镜头专用挡板和吹气清洁装置,可以降低保养频率,并提高设备的工作效率。
Specifications
Specification | Unit | ||
---|---|---|---|
Max. workpiece size | - | Φ6 inch (150 mm × 150 mm, 220 mm × 160 mm user-specified specification) | |
X-axis | Cutting range | mm | 160 |
Cutting speed | mm/s | 0.1 ~ 300 | |
Y-axis | Cutting range | mm | 162 |
Index step | mm | 0.0001 | |
Index positioning accuracy | mm | 0.0015/160 (Single error) 0.0005/5 | |
Z-axis | Max. stroke | mm | 32.2(Φ2" blade) |
Moving resolution | mm | 0.000002 (2 nm) | |
Repeatability accuracy | mm | 0.001 | |
θ-axis | Max. rotating angle | deg | 320 |
Spindle | Rated output | kW | 2.0 at 40,000 min-1 |
Rated torque | N・m | 0.48 | |
Revolution speed range | min‐1 | 3,000 ~ 40,000 | |
Machine dimensions(W×D×H) | mm | 730 × 900 × 1,670 | |
Machine weight | kg | Approx. 600 |
※ 为了改善,机器的外观,特征,规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件,请先确认标准规格书。
Product Lineup
Machine type |
Spindle |
C/T |
Machine dimentions(W × D × H) |
Machine weight(kg) |
DAD323 | DAD324 | DAD3220 | DAD3221 | DAD3230 | DAD3231 | DAD3240 | DAD3241 | DAD3350 | DAD3351 | DAD3360 | DAD3361 | DAD3430 | DAD3650 | DAD3651 | DAD3660 | DAD3661 |
半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 |
1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 2 |
1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
490 × 870 × 1,600 | 490 × 870 × 1,670 | 500 × 900 × 1,670 | 490 × 870 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 650 × 950 × 1,600 | 650 × 950 × 1,670 | 900 × 1,050 × 1,800 | 880 × 1000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 730 × 900 × 1,670 | 790 × 790 × 1,890 | 790 × 790 × 1,800 | 1,350 × 1,200 × 1,890 | 1,350 × 1,200 × 1,800 |
400 | 420 | 550 | 420 | 600 | 550 | 530 | 550 | 1,200 | 1,100 | 1,100 | 1,100 | 600 | 1,100 | 1,040 | 1,500 | 1,550 |