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详细介绍
Φ300 mm切割机的机型
- Φ300 mm
- 对向式双主轴
全自动双工作台切割机
DFD6760是以自动切割机DFD6362为基础，为进一步提高生产效率而开发的机型。DFD6760配置有2个工作台，一个工作台进行加工，另一个工作台可同时进行搬送/定位校准，从而可以缩短主轴的加工待机时间，提高生产效率。除此之外，一个工作台进行切割时，另一个工作台进行加工后圆晶的影像记录或利用NSD※进行圆晶厚度测定等，可在维持产能效率的同时进行检查和测定。 而且和以往机型一样，提高了X，Y，Z轴的返回速度，从而缩短了加工时间。
※ Non-contact Surface Detector（非接触式圆晶测高器/选配）
维持产能的同时提高圆晶加工质量
在薄晶圆的阶梯式切割中，控制从晶圆表面切入的深度非常重要。利用控制切入深度时所使用的NSD可实现从晶圆表面进行高精度的高度测定。虽然NSD约需费时10秒，但由于DFD6760是在利用一个工作台进行晶圆加工的同时另一边实行NSD，因此不会对产能造成影响。
丰富的微粒对策
可以结合工作物的特性，选配DFD6362中备受好评的切割部双流体喷射，磨轮罩以及工作台水帘等。
支持可追溯性构筑的需求
DFD6760配置有2个工作台，一个工作台进行切割作业， 另一个工作台可同时进行保存加工后圆晶的刀痕影像，记录加工质量。近年来，制造现场要求确保可追溯性，以便在产品发生了缺陷时，也可以确认和证明切割时的品质。
操作简便
通过搭载DFD6362中备受好评的LCD触摸屏及图形用户接口GUI（Graphical User Interface），提高了操纵性。
加工记录阅览软件「Dicer Image Viewer」
本机型与以往机型的加工流程比较
Specifications
| Specification | Unit | 1.2, 1.8 kW | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | ||
| Y1･Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.003/310 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| MY1･MY2-axis | Index step | mm | 0.0001 | |
| Positioning accuracy | mm | Within 0.003/310 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 14.7 (For Φ2 inch blade) | 14.9 (For Φ3 inch blade) |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N・m | 0.19（1.2 kW/High-speed rotation） 0.29（1.8 kW） | 0.7 |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000（1.2 kW/1.8 kW） 20,000 ～ 80,000（High-speed rotation) | 3,000 ～ 30,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,200 × 1,900 × 1,800 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 2,750 | ||
※ 为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。 ※ 机器的使用条件，请先确认标准规格书。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 |
| 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 2,050 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 |
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