详细介绍
具有高扩展性,可以满足各种加工需求
- Φ300 mm
- 单主轴
广泛的产品应用
DAD3361是对应直径300 mm加工物※的半自动切割机。标准搭载1.8 kW高功率主轴。选用高转矩・高刚性的2.2 kW主轴(选配)、可对应从硅到陶瓷等难切割材料的加工。可选用对应5英寸刀片的特殊规格。除此以外,还可选配 一张胶膜框架上粘贴多片加工物的校准功能。
※ 可特殊搭载外接圆直径395 mm之内的治具工作台
稳定的加工品质
采用高刚性门型结构以及有效地抑制热伸缩和振动的主轴前端支撑结构,提供更稳定的加工点。并且,搭载了主轴温度传感器的温度监测功能。
缩短加工时间
X,Y,Z全轴采用伺服马达,不仅提高了轴速,而且达到了化的控制参数。因此,和以往机种相比缩短了约2%的加工时间。

提高生产效率
新型非接触式测高功能(Non-Contact Setup/ 选配),对工作台的刀片测高时间缩短了74%。因为提高了测量精度,使加工品质更加稳定。除此之外,显微镜环形照明的开灯方向可以切换3种模式,提高了切痕检测的识别率。可对应SECS/GEM通信系统。

操作简便
- XIS (Extended Interface System)
操作按钮集中于显微镜页面 - Wafer mapping
与全自动机型相同,以图示显示切割的进度状态 - Log viewer
以图示表示类比数据,可视化切割参数 - Help viewer
异常发生时显示对应措施,有助于迅速切实地恢复设备状态




简便的保养特性
- 增强了X, Y和Z轴的防尘性能
对陶瓷等切屑容易损伤主轴的材料更为有效
对应多片粘贴
可将多片封装基板粘贴在1个胶膜框架上进行加工(最多可对应16片)。

测长校准
对于树脂基板等会产生不规则伸缩的材质,通过多点校准,可实现高精度的加工。

Specifications
Specification | Unit | 1.8 kW | 2.2 kW (Optional *) | 2.2 kW High torque (optional) | |
---|---|---|---|---|---|
Max. workpiece size | - | Φ300 mm (280 mm × 280 mm user-specified specification) | |||
X-axis | Cutting range | mm | 310 | ||
Cutting speed | mm/s | 0.1 ~ 1,000 | |||
Y-axis | Cutting range | mm | 310 | ||
Index step | mm | 0.0001 | |||
Index positioning accuracy | mm | 0.002/310 (Single error) 0.002/5 | |||
Z-axis | Max. stroke | mm | 31.2 | 31.4 | |
Moving resolution | mm | 0.0000002 (0.2 nm) | |||
Repeatability accuracy | mm | 0.001 | |||
θ-axis | Max. rotating angle | deg | 320 Θ-axis rotation specification (optional) | ||
Spindle | output | kW | 1.8 at 60,000 min-1 | 2.2 at 30,000 min-1 | 2.2 at 15,000 min-1 |
Rated torque | N・m | 0.29 | 0.7 | 1.4 | |
Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ~ 60,000 | 3,000 ~ 30,000 | 3,000 ~ 15,000 | |
Machine dimensions(W×D×H) | mm | 880 × 1,000 × 1,800 | |||
Machine weight | kg | Approx. 1,100 |
※ 为了改善,机器的外观,特征,规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件,请先确认标准规格书。
Product Lineup
Machine type |
Spindle |
C/T |
Machine dimentions(W × D × H) |
Machine weight(kg) |
DAD323 | DAD324 | DAD3220 | DAD3221 | DAD3230 | DAD3231 | DAD3240 | DAD3241 | DAD3350 | DAD3351 | DAD3360 | DAD3430 | DAD3431 | DAD3650 | DAD3651 | DAD3660 | DAD3661 |
半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 |
1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 2 |
1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
490 × 870 × 1,600 | 490 × 870 × 1,670 | 500 × 900 × 1,670 | 490 × 870 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 650 × 950 × 1,600 | 650 × 950 × 1,670 | 900 × 1,050 × 1,800 | 880 × 1000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 730 × 900 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 790 × 790 × 1,890 | 790 × 790 × 1,800 | 1,350 × 1,200 × 1,890 | 1,350 × 1,200 × 1,800 |
400 | 420 | 550 | 420 | 600 | 550 | 530 | 550 | 1,200 | 1,100 | 1,100 | 600 | 600 | 1,100 | 1,040 | 1,500 | 1,550 |