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  • 型号 DAD3361
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更新时间:2021-10-06 22:51:08浏览次数:654

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产品简介

具有高扩展性,可以满足各种加工需求Φ300mm单主轴广泛的产品应用DAD3361是对应直径300mm加工物※的半自动切割机

详细介绍

具有高扩展性,可以满足各种加工需求

  • Φ300 mm
  • 单主轴

广泛的产品应用

DAD3361是对应直径300 mm加工物的半自动切割机。标准搭载1.8 kW高功率主轴。选用高转矩・高刚性的2.2 kW主轴(选配)、可对应从硅到陶瓷等难切割材料的加工。可选用对应5英寸刀片的特殊规格。除此以外,还可选配 一张胶膜框架上粘贴多片加工物的校准功能。

※ 可特殊搭载外接圆直径395 mm之内的治具工作台

稳定的加工品质

采用高刚性门型结构以及有效地抑制热伸缩和振动的主轴前端支撑结构,提供更稳定的加工点。并且,搭载了主轴温度传感器的温度监测功能。

缩短加工时间

X,Y,Z全轴采用伺服马达,不仅提高了轴速,而且达到了化的控制参数。因此,和以往机种相比缩短了约2%的加工时间。


提高生产效率

新型非接触式测高功能(Non-Contact Setup/ 选配),对工作台的刀片测高时间缩短了74%。因为提高了测量精度,使加工品质更加稳定。除此之外,显微镜环形照明的开灯方向可以切换3种模式,提高了切痕检测的识别率。可对应SECS/GEM通信系统。

显微镜照明的三种切换
显微镜照明的三种切换

操作简便

  • XIS (Extended Interface System)
    操作按钮集中于显微镜页面
  • Wafer mapping
    与全自动机型相同,以图示显示切割的进度状态
  • Log viewer
    以图示表示类比数据,可视化切割参数
  • Help viewer
    异常发生时显示对应措施,有助于迅速切实地恢复设备状态
XIS
XIS
Wafer mapping
Wafer mapping
Log viewer
Log viewer
Help viewer
Help viewer

简便的保养特性

  • 增强了X, Y和Z轴的防尘性能
    对陶瓷等切屑容易损伤主轴的材料更为有效

对应多片粘贴

可将多片封装基板粘贴在1个胶膜框架上进行加工(最多可对应16片)。

对应多片粘贴
对应多片粘贴

测长校准

对于树脂基板等会产生不规则伸缩的材质,通过多点校准,可实现高精度的加工。

测长校准
测长校准

Specifications

Specification Unit 1.8 kW 2.2 kW (Optional *) 2.2 kW High torque
(optional)
Max. workpiece size - Φ300 mm (280 mm × 280 mm user-specified specification)
X-axis Cutting range mm 310
Cutting speed mm/s 0.1 ~ 1,000
Y-axis Cutting range mm 310
Index step mm 0.0001
Index positioning accuracy mm 0.002/310
(Single error) 0.002/5
Z-axis Max. stroke mm 31.2 31.4
Moving resolution mm 0.0000002 (0.2 nm)
Repeatability accuracy mm 0.001
θ-axis Max. rotating angle deg 320
Θ-axis rotation specification (optional)
Spindle output kW 1.8 at 60,000 min-1 2.2 at 30,000 min-1 2.2 at 15,000 min-1
Rated torque N・m 0.29 0.7 1.4
Revolution speed range min‐1 6,000 ~ 60,000 3,000 ~ 30,000 3,000 ~ 15,000
Machine dimensions(W×D×H) mm 880 × 1,000 × 1,800
Machine weight kg Approx. 1,100

※ 为了改善,机器的外观,特征,规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件,请先确认标准规格书。

Product Lineup

Machine type
Spindle
C/T
Machine dimentions(W × D × H)
Machine weight(kg)
DAD323DAD324DAD3220DAD3221DAD3230DAD3231DAD3240DAD3241DAD3350DAD3351DAD3360DAD3430DAD3431DAD3650DAD3651DAD3660DAD3661
半自动半自动半自动半自动半自动半自动半自动半自动半自动半自动半自动半自动半自动半自动半自动半自动半自动
11111111111112222
11111111111111111
490 × 870 × 1,600490 × 870 × 1,670500 × 900 × 1,670490 × 870 × 1,670730 × 900 × 1,670650 × 950 × 1,670650 × 950 × 1,600650 × 950 × 1,670900 × 1,050 × 1,800880 × 1000 × 1,800880 × 1,000 × 1,800730 × 900 × 1,670730 × 900 × 1,670790 × 790 × 1,890790 × 790 × 1,8001,350 × 1,200 × 1,8901,350 × 1,200 × 1,800
4004205504206005505305501,2001,1001,1006006001,1001,0401,5001,550

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