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详细介绍
兼顾小的占地面积和功能性，针对6英寸加工物的小型化切割机
- Φ150 mm
- 单主轴
对应小口径加工物的各种加工需求
标准搭载高转矩2.0 kW主轴，对应6英寸加工物，特殊选配时可对应150 mm方形加工物的单轴切割机
高生产效率
采用高性能的MCU来提升软件运作速度及操作反应速度，X，Y，Z轴全部采用伺服电机，以提高轴的速度和生产效率。标准配置的PC ，通过选配功能可对应通信控制系统。除此之外，采用新型NCS(Non-Contact Setup)以提高测量精度和缩短测量时间。
| 以往机型(DAD322) | DAD324 | |
|---|---|---|
| X轴 | 500 | 800 |
| Y轴 | 150 | 200 |
| Z轴 | 30 | 80 |
mm/s
小※的占地面积
宽度仅为490 mm的紧凑设计，特别是将数台切割机并列运行时,对提高单位面积的生産效率有重大的意义
※ DISCO调查
操作简便
- XIS (Extended Interface System)
操作按钮集中于显微镜界面 - Wafer mapping
与全自动机型相同，以图示显示切割的进度状态 - Log viewer
以图示显示类比数据，并可视化切割参数 - Help viewer
显示异常发生时的对应措施，有助于迅速切实地恢复设备状态 - 自动校准
- 自动对焦
- 自动刀痕检测
Specifications
| Specification | Unit | ||
|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ6 inch/150 × 150 mm (user-specified specification) | |
| X-axis | Cutting range | mm | 160 |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 - 800 | |
| Y-axis | Cutting range | mm | 162 |
| Index step | mm | 0.0001 | |
| Index positioning accuracy | mm | 0.005/160 (Single error)0.003/5 | |
| Z-axis | Max. stroke | mm | 32.2 |
| Moving resolution | mm | 0.000002(2 nm) | |
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | |
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 320 |
| Spindle | Output | kW | 2.0 at 40,000 min-1 |
| Rated torque | N・m | 0.48 | |
| Revolution speed range | min‐1 | 3,000 - 40,000 | |
| Machine dimensions（W × D × H） | mm | 490 × 870 × 1,670 | |
| Machine weight | kg | Approx. 420 | |
※ 此机种标准对应刀片外径为55.56 mm，最厚为1.2 mm厚度的加工物。
※ 为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件，请先确认标准规格书。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DAD323 | DAD3220 | DAD3221 | DAD3230 | DAD3231 | DAD3240 | DAD3241 | DAD3350 | DAD3351 | DAD3360 | DAD3361 | DAD3430 | DAD3431 | DAD3650 | DAD3651 | DAD3660 | DAD3661 |
| 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 | 半自动 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 490 × 870 × 1,600 | 500 × 900 × 1,670 | 490 × 870 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 650 × 950 × 1,600 | 650 × 950 × 1,670 | 900 × 1,050 × 1,800 | 880 × 1000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 730 × 900 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 790 × 790 × 1,890 | 790 × 790 × 1,800 | 1,350 × 1,200 × 1,890 | 1,350 × 1,200 × 1,800 |
| 400 | 550 | 420 | 600 | 550 | 530 | 550 | 1,200 | 1,100 | 1,100 | 1,100 | 600 | 600 | 1,100 | 1,040 | 1,500 | 1,550 |
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