机床商务网
详细介绍
追求节省占地面积的Φ300 mm的切割机
- Φ300 mm
- 对向式双主轴
节省空间布局
搭载了的短加工主轴。优化了门型结构的布局，设备主体的占地面积减少了16%。此外，可从设备的正面进行所有的保养，无需在设备侧面操作，包括保养区在内，布局面积减少了20 %。Φ300 mm切割机于需要平列放置多台机器的工厂。（与DFD6362相比）
以直观的操作辅助操作人员
通过LCD触摸屏，可在使用显微镜画面的同时进行目标识别等操作。此外，通过设备状况的图表显示和MTBA（平均辅助间隔时间）状态显示，操作人员可以根据图表掌握设备的运转状况。当异常发生时画面上会给予处理指示，以辅助故障排除操作。
高刚性主轴
采用高刚性主轴，进一步实现加工稳定性。
Non-contact setup
采用NCS（非接触式测高）, 高精度・高速地测量刀片磨损量。
同步控制切割加工轴(X,Y,Z)
预先测量放置圆晶工作台的高度，可精确的控制刀片的切割深度。（特殊对应）
丰富的微尘粒子对策选项
可选择作为微尘粒子对策选项而备受好评的切割部水汽双流体喷嘴及离心清洗部水汽双流体喷嘴。此外，还可组合工作台水帘，以防止加工物表面微尘粒子干燥而引起的固结。
减少保养空间
从日常操作到保养都可从设备的正面进行。多台并列设置时，因为减少了侧面的维护区空间，所以在设置4台以往机器（DFD6362）的空间中可设置5台DFD6560。
加工物流程系统
- 取物夹将加工物从晶圆盒中取出，送到预校准台 →
- 在预校准台进行中心定位后，下取物手臂将加工物移到工作台 →
- 切割 →
- 上取物手臂将加工物移到离心清洗台 →
- 清洗和干燥 → 下取物手臂将加工物送到预校准台 →
- 取物夹将加工物送回晶圆盒中
Specifications
| Specification | Unit | 1.8 kW | High speed (option) | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | ||
| Y1･Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.002/310 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 14.2 (For Φ2 inch blade) | |
| Moving resolution | mm | 0.0000002 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N・m | 0.29 | 0.19 |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | 20,000 ～ 80,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 81mm convex （left side） | |
| Machine weight | kg | Approx. 1,500 | ||
※ 为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件，请先确认标准规格书。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 2,050 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 2,200 | 2,800 |
机床商务网