详细介绍
追求生产效率的Φ300 mm的切割机
- Φ300 mm
- 对向式双主轴
提高生产效率
通过缩短刀片主轴的间距,实现了高速的双刀切割加工。另外,通过改善主轴结构提高了X轴加工时的返回速度,并且通过优化零部件提高了主要搬运部的速度。因此,在相同条件下与以往机型相比,生产效率提高了约7%。
提高了*清洁的能力
对加工点附近的水流进行了分析,新设置了有效地防止微粒附着的刀架罩。而且,可以根据圆晶的特性,选配工作台水帘( CTWC )或者切割部水气二流体喷嘴。

自动更换切割刀片※(ABC)
自动进行因更换圆晶/刀片寿命结束/发生刀片破损等情况时所需的刀片更换,预切割和重新开始切割等一系列的动作,减轻了操作人员的作业负担。在约60秒可完成两个轴的刀片更换,大幅度地减少了设备的停机时间。因为设备在进行刀片更换时需读取刀片背面条形码中的刀片品种等信息,所以可防止安装错误刀片等人为失误。
※ 选配

升级版图形化操作软件
通过在与显微镜影像相同的画面上的操作按钮,使目标识别等作业更为便利。另外,利用图形化表示设备的状态,可以更清楚地显示设备的运作状况。

加工物流程系统
- 下取物手臂将加工物从晶圆盒中取出,在预校准台进行中心定位作业后,搬运到工作台 → 切割 →
- 上取物手臂将加工物从工作台搬运到离心清洗台 → 清洗,干燥 →
- 下取物手臂将加工物放回到晶圆盒内

Specifications
Specification | Unit | 1.2, 1.8 kW, High-speed rotation | 2.2 kW | |
---|---|---|---|---|
Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
Cutting speed | mm/s | 0.1 ~ 1,000 | ||
Y1・Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
Index step | mm | 0.0001 | ||
Positioning accuracy | mm | Within 0.002/310 (Single error) Within 0.002/5 | ||
Z-axis | Max. stroke | mm | 14.7 (For Φ2 inch blade) | 14.9 (For Φ3 inch blade) |
Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
Spindle | Rated torque | N・m | 0.19(1.2 kW/High-speed rotation) 0.29(1.8 kW) | 0.7 |
Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ~ 60,000(1.2 kW/1.8 kW) 20,000 ~ 80,000(High-speed rotation) | 3,000 ~ 30,000 | |
Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,200 × 1,550 × 1,800 | ||
Machine weight | kg | Approx. 2,050 |
※ 为了改善,机器的外观,特征,规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件,请先确认标准规格书。
Product Lineup
Machine type |
Spindle |
C/T |
Machine dimentions(W × D × H) |
Machine weight(kg) |
DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6361 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 |
1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
1,200 | 1,600 | 1,500 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |