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详细介绍
导入了有实效的产能提高对策，提高了全自动双主轴设备的生产效率。
- Φ200 mm
- 对向式双主轴
提高生产效率
DFD6341是适用于Φ8英寸的全自动双主轴切割机，导入了开发于Φ300 mm的DFD6362设备的提高生产效率的技术。采用*的主轴机构，X轴的返回速度提高到1,000 mm / s。并且，提高了各轴的加减速性能，扩大了速度时的移动范围，大幅度地提高了生产效率。除此之外，通过优化零部件提高主要搬运部的速度，通过缩短主轴之间的距离来减少双轴切割的加工时间。
节省空间的设计
与以往机型DFD6340相比，占地面积缩小约3%。无需增大占地面积便可同时内置变压器、UPS（紧急供电装置）、CO2 Injector 和升压泵。
操作简便
采用了以往机型中因操作简便而备受好评GUI（Graphical User Interface），与LCD触摸屏的组合使用，实现了便捷操作。
高速闪光校准（选配）
氙气闪光灯和高速快门CCD的组合，可以实现无需停止工作台，便可在高速移动的同时进行校准。减少校准时间，提高生产效率。
加工物流程系统
- 下取物手臂将加工物从晶圆盒中取出，在预校准台进行中心定位作业后，搬运到工作台 → 切割 →
- 上取物手臂将加工物从工作台搬运到离心清洗台 → 清洗，干燥 →
- 下取物手臂将加工物送回晶圆盒内
Specifications
| Specification | Unit | 1.2、1.8 kW、High speed rotation | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ8 inch | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 210 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | ||
| Y1･Y2-axis | Cutting range | mm | 210 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.002/210 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 19.22 (For Φ2 inch blade) | 19.9（For Φ3 inch blade） |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N・m | 0.19（1.2 kW/High speed rotation） 0.29（1.8 kW） | 0.7 |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000（1.2 kW/1.8 kW） 20,000 ～ 80,000（High speed rotation） | 3,000 ～ 30,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,180 × 1,080 × 1,820 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 1,500 | ||
※ 为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件，请先确认标准规格书。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 2,050 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |
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