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详细介绍
功能齐全，更加*的对应Φ300 mm的切割机
- Φ300 mm
- 对向式双主轴
- DBG
提高生产效率
采用对向式双主轴结构以及缩短两切割刀片轴的间距，提高了生产效率。在Z1轴与Z2轴上同时采用了NCS（ Non-Contact Setup非接触式测高功能/选配），从而大幅度地减少了因刀片原点测试(set up)而造成的切割中断时间。
稳定的加工品质
通过采用增强径向刚性的同步主轴™ ，提高了加工品质的稳定性。另外，可搭载在清洗加工物时可高效发挥清洗效果的特殊选配离心清洗部位水气二流体清洗机构（技术第3410385号）。
提高操作性能
为了提高更换切割刀片时的操作效率，在该设备上采用了切割刀架罩自动开合机构和主轴锁定机构。而且通过状态监视功能，可以掌握加工状态和各种状态信息。另外，搭载了切割水流量监视功能，可通过画面进行切割水流量管理。以及搭载了基于GUI （Graphical User Interface）的可动式LCD触摸屏。
主轴阵容
标准配置为高刚性的1.2 kW主轴。除此之外，还有采用center thrust结构，进一步提高了刚性的1.8 kW主轴（使用2英寸切割刀片，选配）和2.2 kW主轴（使用3英寸切割刀片，选配），适用于玻璃，陶瓷等加工负载较高材料的加工。
减少占地面积
采用门式结构以及优化晶圆搬运部的布局，实现了小型化。
加工物流程系统
- 取物夹将加工物从晶圆盒中取出，送到预校准台 →
- 在预校准台进行中心定位后，下取物手臂将加工物移到工作台 → 切割 →
- 上取物手臂将加工物移到离心清洗台 → 清洗和干燥 →
- 下取物手臂将加工物送到预校准台 →
- 取物夹将加工物送回晶圆盒中
Specifications
| Specification | Unit | 1.2, 1.8 kW | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | mm | Φ300 | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 600 | ||
| Y1･Y2-axis | Cutting range | mm | 310 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.002/310 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 14.7 (For Φ2 inch blade) | 14.9（For Φ3 inch blade） |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N・m | 0.19（1.2 kW） 0.29（1.8 kW） | 0.7 |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | 3,000 ～ 30,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 1,200 × 1,550 × 1,800 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 2,050 | ||
※ 为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件，请先确认标准规格书。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |
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