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详细介绍
小级的单轴全自动切割机
- Φ200 mm
- 单主轴
考虑到生产现场需求的设计
通过追求框架结构和搬运单元布局的优化，虽然是全自动机器，但是实现了手动机（本公司DAD3350）的占地面积（本公司DFD641相比减少了约20％）。而且还减少了电力和空气消耗，机器的设计顾及到运行成本和环保。除此此外，搭载了更容易掌握加工状态和各种信息的状态监视功能(Condition Monitor) ，有助于日常检查和流程管理。
提高加工品质
通过采用为增强径向刚性而新开发的同步主轴™，提高了加工品质的稳定性。并且，标准配置了可在触摸式液晶显示器上直接输入切割水流量的监控功能，可提供稳定的加工结果。另外，为了有效地防止切割过程中的微粒粘附现象，可搭载特殊选配的切割部位水气二流体喷射机构，以及在清洗加工物时可高效发挥清洗效果的离心清洗部位的水气二流体清洗机构（已获得技术，技术第3410385号）。
提高操作性能
为了提高更换切割刀片时的操作效率，在该设备上采用了切割刀架罩自动开合机构和主轴锁定机构，可以从设备的前方进行更换刀片。并且搭载了LCD触摸屏和GUI,更有效于操作的简便性。
提高生产效率
通过提高每个轴的移动速度来提高生产效率。
主轴阵容
标准配置为高刚性的1.2 kW主轴。除此之外，还可选择采用center thrust结构，进一步提高刚性的1.8 kW主轴（使用2英寸切割刀片，选配）和2.2 kW主轴（使用3英寸切割刀片，选配），适用于加工玻璃，陶瓷等加工负载较高的材料。
加工物流程系统
- 下取物手臂将加工物从晶圆盒中取出，在预校准台进行中心定位作业后，搬运到工作台 → 切割 →
- 上取物手臂将加工物从工作台搬运到离心清洗台 → 清洗，干燥 →
- 下取物手臂将加工物放回到晶圆盒内
Specifications
| Specification | Unit | 1.2, 1.8 kW | 2.2 kW | |
|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ8 inch | ||
| X-axis | Cutting range | mm | 210 | |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 600 | ||
| Y-axis | Cutting range | mm | 210 | |
| Index step | mm | 0.0001 | ||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.003/210 (Single error) Within 0.002/5 | ||
| Z-axis | Max. stroke | mm | 19.22 (For Φ2 inch blade) | 19.9 (For Φ3 inch blade) |
| Moving resolution | mm | 0.00005 | ||
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | ||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | |
| Spindle | Rated torque | N・m | 0.19（1.2 kW） 0.29（1.8 kW） | 0.7 |
| Revolution speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | 3,000 ～ 30,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 900 × 1,190 × 1,800 | ||
| Machine weight | kg | Approx. 1,200 | ||
※ 为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件，请先确认标准规格书。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DFD6340 | DFD6341 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 |
| 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,600 | 1,500 | 2,050 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |
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