机床底座和控制 | 描述 |
机床底座 | 密封的天然花岗岩底座可为机床提供长久的稳定性 |
机器类型 | 超精密五轴数控轮廓机床 |
隔振 | 自调平双腔气动隔振系统(可选配 PEPS® II-VX 主动减振系统) |
控制系统 | Upx™ 机床控制操作系统,带 UPx 数据存储和 Windows 子系统 |
操作系统 | 具有 64 位浮点十进制精度的 Qnx 实时操作系统 |
编程分辨率 | 0.01 nm 线性/0.0000001°旋转 |
文件传输 | USB、CD-ROM、以太网 |
车削性能 | 表面光洁度 < 1.5 nm Sa 形状精度 < 0.125 µm P-V |
铣削性能 | 表面粗糙度 < 10 nm Sa(使用材料和切削条件可实现 <3 nm) 铣削形状精度 < 0.2 µm P-V |
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线性油静压滑道 | 描述 |
输入 | 具有对称直线电机设计和液体冷却的静承滑道 |
行程 | X 轴:500 毫米(19.7 英寸)垂直 Y 轴:150 毫米(5.9 英寸)Z 轴:300 mm (11.8英寸) |
进给率 | 3000 毫米/分钟(118 英寸/分钟) |
驱动系统 | 所有三个线性轴都使用直线电机 |
位置反馈分辨率 | 所有三个线性轴的 8 pm (0.008 nm) |
水平/垂直直线度 | X 轴:在整个行程中为 0.5 µm (12 微英寸) / 0.75 µm (30 微英寸) 上为 0.3 µm Z 轴:在整个行程中为 0.5 µm (12 微英寸) / 0.75 µm (30 微英寸) |
X、Z 俯仰/横摇运动 | 2.0弧秒 |
Y 俯仰/偏转运动 | 2.0弧秒 |
X、Z 垂直/水平刚度 | 两个方向上均为 438 N/µm (2,500,000 磅/英寸) |
X 和 Z 方向上的 Y 轴 | 两个方向上均为 263 N/µm (1,500,000 磅/英寸) |
Y 轴工作负载能力 | 91 kg (200 磅) |
静压供油系统 | Hydro-7 智能伺服控制、低脉动泵,热控制可选 |
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工件夹持空气轴承主轴 | 高性能 HS150 主轴 |
空气轴承式主轴 | 槽式止推轴承 |
材料 | 钢轴/铜轴套 |
标准摆动能力 | 1000 mm | B 轴上为 530 mm 直径 |
负载能力 @ Y 轴锁定时的主轴鼻端 | 136 千克(300 磅)@ 100 PSI / 204 千克(450 磅)@ 150 PSI |
轴向刚度 | 230 N/µm (1,314,000 磅/英寸) |
径向刚度 | 130 N/μm(743,600磅/英寸) |
运动精度 | 轴向/径向 ≤ 15 nm (0.6 微英寸) |
热控制 | 液体冷却机+/- 0.1°C 精度 |
C 轴反馈分辨率 | 0.010 弧秒 16,200 线编码器(可选配 0.018 弧秒 9,000 线编码器) |
C 轴定位精度 | +/- 1弧秒 |
C 轴转速 | 2,000 RPM(4,000 RPM,9,000 线编码器) |
工件夹紧主轴转速 | 10,000 RPM |
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旋转油静 | 带 Hydrolock 的 HydroRound II 旋转 B 轴 |
输入 | 自补偿油静承、双锥、集成无刷直流电机 |
负载能力 | 454 kg (1,000 磅) |
台面尺寸 | 381 mm (15 英寸) 直径 |
转速 | 3,600˚/分钟 |
反馈分辨率 | 0.003弧秒 |
定位精度 | +/- 0.1弧秒 |
径向运动误差 | 0.10 µm (4 微英寸)@ 工具高度(高于台面 6.9 英寸),可以使用可选的误差修正图进行改进 |
轴向运动误差 | 0.10 µm (4 微英寸) |
锥形误差 | 1.0 nm/mm (1.0 微英寸/英寸) |
径向刚度 | 525 N/µm (3,000,000 磅/英寸) |
轴向刚度 | 875 N/µm (5,000,000 磅/英寸) |
力矩刚度 | 17 牛顿米/微弧度(150 英寸磅/微弧度) |
Hydrolock 保持扭矩 | > 108 牛顿米 / 80 英尺磅 |
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可选的铣削/磨削主轴 | SP75FF 主轴 | Levicron 高速铣削主轴 |
供气压力 | 690 kPA (100 PSI) | 610 kPA (88 PSI) |
耗气量 | 50 升/米(1.7 SCFM) | 70 升/米(2.5 SCFM) |
径向负载能力 | 32 千克(70 磅)的负载能力 | 29 千克(65 磅)的负载能力 |
轴向刚度 | 70 N/µm (400,000 磅/英寸) | 50 N/µm (285,000 磅/英寸) |
径向刚度 | 22 N/µm (125,000 磅/英寸) | 35 N/µm (200,000 磅/英寸) |
轴向运动误差 | 低于 0.05 微米 (2 微英寸) | < 30 nm 异步 |
径向运动误差 | 低于 0.05 微米 (2 微英寸) | < 30 nm 异步 |
转速 | 15,000 RPM | 80,000 RPM(60k RPM 型号的刚度增加 50%) |
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设施要求 | |
电源 | 208 或 230 VAC - 1相 - 50/60 Hz - 4.5 KVA |
压缩空气供应 | 典型:100 psig 下为 14 SCFM,过滤至 50 μm 和干燥至 10°C 露点 |
机器尺寸和重量 | 3505 毫米 x 3442 毫米 x 2670 毫米(138 英寸 x 136 英寸 x 105英寸) (近似于独立室,不包括悬吊式控制装置或辅助设备) |