球形脉冲激光淀积系统（PLD） 返回列表页

产品名称

球形脉冲激光淀积系统（PLD）

安装条件

1、环境温度：10℃～35℃

2、相对湿度：不大于75%

3、供   水：水压0.2MPa～0.4MPa,水温15℃～25℃

4、设备周围环境整洁，空气清洁，不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。

技术参数

1、系统采用真空室为球形结构，手动前开门
2、真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢材料制造（304），氩弧焊接，表面采用喷玻璃丸+电化学抛光钝化处理配有可视观察窗口真空有效尺寸为SΦ300mm
3、极限真空度：≤6.67x10^-5Pa (经烘烤除气后，采用600L/S分子泵抽气，前级采用8L/S)；系统真空检漏漏率：≤5.0x10^-8Pa.l/S； 系统从大气开始抽气到8.0x10^-4 Pa，40分钟可达到； 停泵关机12小时后真空度：≤5 Pa
4、样品台：样品尺寸φ40mm，转速5-30RPM，基片台与转靶距离40～90mm
5、样品加热高加热温度：800℃，温控精度：±1°C，采用控温表进行控温
6、四工位转靶：每个靶位φ40mm,挡板只露出一个靶位，激光束要求打在上面靶位，转靶具有公转、自转功能
7、真空室内设置烘烤、照明、水压报警装置
8、MFC一路质量流量计控制进气 ：0-100sccm